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CONTENTS


 The latest Fab design methodologies and

 practice are introduced in this issue.


                        036    低成本與高生產力的綠色製程―現場製氟技術
                               On-Site Fluorine Generator - a Low-cost and High-productivity Green Approach
                               黃介然/新廠設計部

                        042    機能水的應用
                               UPW Future Trend: Functional Water
 002 EDITOR'S COLUMN           王義信/新廠設計部、山下幸福/奧璐佳瑙科技股份有限公司
 黃昭文/新廠設計部
                        048    大量EPI製程氫氣洩漏爆炸後果模擬分析
                               Explosion Simulation of Hydrogen Released from the  Massive EPI Processes
 003 TECH                      洪文當/工程品質暨安全管理部、黃建彰/財團法人安全衛生技術中心


 NOTES                  054    先進半導體廠化學品供應系統及微粒子控制
                               Advanced Chemical and Slurry Supply with Particle Control
 004  低頻磁場即時監測系統於半導體廠房的應用      徐銘宗/新廠設計部、江宜蓁 謝欣容/十二B廠廠務工程專案
 Real Time Monitoring System for Low Frequency Magnetic Field in Semiconductor Fabs
                                                                                     NEW
 于淳/廠務技術發展專案                                                                                         059

 010  訊號處理及頻譜分析                                                              VISIONS
 Signal Processing and Spectral Analysis
 陳錦村/廠務技術發展專案                                                               未來的半導體材料：石墨烯              062
                                                            Graphene: the future Material for Semiconductor
 020  奈米粒子捕捉技術介紹                                                                 于淳/廠務技術發展專案
 Nanoparticle Contaminants Measuring and Source Tracking System
 郭啟文/廠務技術發展專案                                                     仿生科技―製程排氣處理風扇自潔技術                   066
                                                                   Biomimeticsķ Self-cleaning of AAS Fan
 028  無塵室性能式煙控設計                                                陳政安/新廠設計部、錢立行/十二廠廠務一部
 Performance-based Design of Smoke Removal in Cleanroom
 邱民昇/新廠設計部                                                                    DCS設計躍進―電子錯線            072
                                                              DCS Electronic Marshalling for Semiconductor
                                                                                     李文振/新廠設計部


































                                                                              NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL         JUNE  2013  3
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