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圖一、甲廠三樓在不同機台裝機率的無塵室磁場等高線圖




                       3.3

                       3
                       2.5

                       2
                       1.5
                       1

                       0.6
                       0.3

                       0
                     mG       No tool moved in   140 tools moved in  600 tools moved in   800 tools moved in
                                2012.02.02          2012.05.08          2012.07.31          2012.11.13








                                                頻率 60Hz 電磁波的忍受力到 2.5            有大於 80%  的 CDSEM 機台到後
                 前言                             mG ( 毫高斯 )，而對非 60Hz 頻率          來都要做電磁隔離防護才能有效
                                                電磁波的忍受力卻只有 0.5 mG，              操作。
                                                但在無塵室裡，很難找到符合上
                 半導體廠房內除了電纜、變壓器、                述任何一個值的理想地點，  圖一                以上的這些磁場測量值是約每一
                 不斷電系統 (UPS) 等外，還有自             是甲廠三樓在不同機台裝機率的                  季筆者在無塵室內每隔 4.8 m 測
                 動化高功率機台，工程師人手一                 無塵室磁場等高線圖，在剛裝機                  一點、每點測量時間約 30 秒所
                 隻手機時時保持通訊，頭頂上還                 運轉的前期敏感機台都還算操作                  得的最大磁場讀值，好比乙廠
                 有高運量快速通過的晶片自動運                 正常，但隨著無塵室內機台裝機                  與丙廠的 三樓無塵室總 共需要
                 輸系統 (AMHS)，無塵室裡無處不             率接近 90% 時，電磁干擾的現象               576 (32×18)  個 測 量 點 與 684
                 充斥著各種頻率的電磁波，每種                 就會顯著的增加了。                       (19×36)，實際上無塵室內磁場
                 電器皆會產生電波，而且電器本身                                                環境值應高於上述測量值，因為
                 對所處環境電磁波的操作也有其                   圖二 a、b 分別是乙廠與丙廠磁場             有些機台的作業時程（例如：蝕
                 要求限制，因此對廠房內一些敏                 分布面積與機台裝機率的關係圖，                 刻、鍍膜等），應超過 30 秒，機
                 感機台或設施的電磁相容（EMC：               當機台裝機率大於 90%  時，無               台從待機、暖機、電力全開等的
                 electromagnetic compatibility） 與  塵室內磁場小於等於 1.0 mG 和           過程，其所產生的電磁波的大小
                 電磁干擾（EMI： electromagnetic      3.0 mG 的面積不到總面積的 6%             也不盡相同，甚至有時最大電磁
                 interference）的問題是不容輕忽；         和 50%，對於裝機率幾乎接近                 波的發生是在開關瞬間的突波而
                 好比日本 Hitachi 最新推出的電子           100% 的廠，磁場小於等於 1.0 與            非發生在機台最大輸出功率時，
                 顯微鏡 GC5000 是用來檢視 N1X           3.0 mG 的區域更只佔無塵室面積              電磁波也是波動的一種，所以會
                 製程尺寸的機台，雖然已提高對                 的 0.4 %  與 41 %，這也是為何           有建設性和破壞性的干擾，也就





                                                                                  于  淳 Chwen Yu
                                                                        希望大家都能心情愉快身體健康
                                                                          活到老學到老 , 多去戶外走走
                                                                                 除了陪孩子陪老婆
                                                                              也要陪陪年邁的父母親



                                                                              NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL         JUNE  2013  7
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