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EDITOR’S COLUMN

The mission of fab design is to ful ll and

accelerate advanced technology development
and manufacturing, and at the same time strive to
develop sustainable fabs that are e cient,
environmentally friendly, cost e ective in order to
bring about a sustainable environment.

接續上一期廠房規劃，新工季刊第 10 期切入廠房設計，探討面對 16
奈米、10 奈米以下先進製程的嚴峻跳戰。

本期技術專文收錄八篇精選文章。首先，我們從充斥在機台間的電磁
波下手，採用低頻磁場即時監測感測器檢視電子顯微鏡的環境磁場， 技術專文
避免機台電磁干擾因素，達成高良率的生產效能；同步刊載訊息處理
暨光譜分析技術文章以及奈米微粒污染物量測暨污染源追蹤系統，這 TECH
套系統有著令人振奮的高準確控污手法，運用無線點對點的傳輸方式
可適用在先進半導體廠房。另外，因應愈趨複雜的 AMHS 系統導入有
別於傳統的性能式煙控設計；模擬 EPI 製程機台使用大量氫氣聚集模 NOTES
式提升防護措施；現地製氟技術的優勢、化學研磨液供應系統的演進
及機能水的應用也將在本期中詳加說明。

在新象新知中，除特別為讀者介紹未來半導體材料－擁有極佳導電導
熱和電子遷移率的石墨烯外，還有仿生科技應用在排氣系統自潔技術
及控制系統設計躍進等三篇文章。 低頻磁場即時監測系統於半導體廠房的應用
Real Time Monitoring System for Low Frequency Magnetic Field in
新廠廠務設計隨著製程精進，需要不間斷的嘗試創新激盪出最佳設計 Semiconductor Fabs
方向，為未來的廠務系統提供高效能及高穩定的運轉基石。
訊號處理及頻譜分析
Signal Processing and Spectral Analysis

奈米粒子捕捉技術介紹
黃 昭文 Jau Wen Huang
Nanoparticle Contaminants Measuring and Source Tracking System
新廠設計部
無塵室性能式煙控設計
Performance-based Design of Smoke Removal in Cleanroom

低成本與高生產力的綠色製程─現場製氟技術
On-Site Fluorine Generator - a Low-cost and High-productivity Green Approach

機能水的應用
UPW Future Trend: Functional Water

大量EPI製程氫氣洩漏爆炸後果模擬分析
Explosion Simulation of Hydrogen Released from the Massive EPI Processes

先進半導體廠化學品供應系統及微粒子控制
Advanced Chemical and Slurry Supply with Particle Control