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Tech
Notes
技術專文
文│于 淳│廠務技術發展專案│
Real Time Monitoring System for
Low Frequency
Magnetic Field
in Semiconductor Fabs
低頻磁場即時監測系統於
半導體廠房的應用
半導體廠房內到處都充斥著電磁波，為使機台彼此不受電磁波干擾而能正常作業，就必須作好半導
體廠房的電磁波管理，第一步先要建立即時電磁波監測系統，本文探討即時電磁波監測系統所需的
感測器要求、即時電磁波監測系統建立的方式，並實際在十二廠的黃光區建立一小區域低頻磁場即
時監測系統來監測電子顯微鏡的環境磁場，為未來無塵室全區的電磁波即時監測系統作開發測試。
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