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EDITOR’S COLUMN
The mission of fab design is to ful ll and
accelerate advanced technology development
and manufacturing, and at the same time strive to
develop sustainable fabs that are e cient,
environmentally friendly, cost e ective in order to
bring about a sustainable environment.
接續上一期廠房規劃，新工季刊第 10 期切入廠房設計，探討面對 16
奈米、10 奈米以下先進製程的嚴峻跳戰。
本期技術專文收錄八篇精選文章。首先，我們從充斥在機台間的電磁
波下手，採用低頻磁場即時監測感測器檢視電子顯微鏡的環境磁場，
避免機台電磁干擾因素，達成高良率的生產效能；同步刊載訊息處理
暨光譜分析技術文章以及奈米微粒污染物量測暨污染源追蹤系統，這
套系統有著令人振奮的高準確控污手法，運用無線點對點的傳輸方式
可適用在先進半導體廠房。另外，因應愈趨複雜的 AMHS 系統導入有
別於傳統的性能式煙控設計；模擬 EPI 製程機台使用大量氫氣聚集模
式提升防護措施；現地製氟技術的優勢、化學研磨液供應系統的演進
及機能水的應用也將在本期中詳加說明。
在新象新知中，除特別為讀者介紹未來半導體材料－擁有極佳導電導
熱和電子遷移率的石墨烯外，還有仿生科技應用在排氣系統自潔技術
及控制系統設計躍進等三篇文章。
新廠廠務設計隨著製程精進，需要不間斷的嘗試創新激盪出最佳設計
方向，為未來的廠務系統提供高效能及高穩定的運轉基石。
黃 昭文 Jau Wen Huang
新廠設計部
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