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– ID Concavity： 管 內 徑 (ID) 銲 道 接材料及銲接氣體必須符合標準、
凹陷 (Concavity) 低於管壁面。 銲道須達到規範之標準。金屬管線
氬銲自動銲接技術與管理必須隨著
– Undercut：銲道咬邊。
半導體製程之精進達到管路銲接高
– Unconsumed Weld Tack： 銲 道 品質及高潔淨度的宗旨。
表面有銲點 (Weld Tack) 痕跡為
缺陷。
– ID Discoloration：管內銲道有變
色 (Discoloration) 狀態為缺陷。 參考文獻

– OD Concavity： 外 徑 (OD) 銲 道 [1] The Orbital Welding Handbook, POLY-
SOUDE
凹度 (Concavity)>10% 管壁厚度
[2] The Orbital Welding Manual, Orbitalum.
(T) 為 缺 陷； 當 管 徑 小 於 1inch [3] ASME B31.3_Process Piping, ASME.
則不容許銲道凹度。 [4] ASME BPVC_Boiler and Pressure
Vessel Code, ASME.
– OD Convexity： 外 徑 (OD) 銲 道 [5] AWS A2.4_Standard Symbols for
Welding, AWS.
凸度 (Convexity)>10% 管壁厚度
[6] SEMI F81_ Specification for Visual
(T) 為缺陷。 Inspection and Acceptance of
Gas Tungsten Arc Welds in Fluid
– Weld Width Variation： Distribution Systems in Semiconductor
內徑 (ID) 銲道寬度應介於 1.0-2.5 Manufacturing Applications, SEMI.
[7] SEMI F78_Practice for Gas Tungsten
倍管壁厚 (T)，且最大銲道寬度 Arc Welding of Fluid Distribution
≦ 1.25 倍的最小銲道寬度，否 S y st e m s in S e m i c on d u ct or
Manufacturing Applications, SEMI.
則為缺陷。
[8] SEMI E49.6_Guide for subsystem
外徑 (OD) 銲道寬度最少應為管 assemble and testing procedures-
stainless steel systems, SEMI.
壁厚 (T) 的兩倍，否則為缺陷。
– Weld Bead Meander：銲道中心
線的變化距離 >35% 管壁厚 (T)
為缺陷。
– Bead Overlap：外銲道魚鱗紋重
疊率 <80%，內銲道魚鱗紋重疊
率 <70%，皆為缺陷。
– Axial Misalignment：對接管路之
軸向段差量 >10% 管壁厚 (T) 為
缺陷。

結論

氬銲自動銲接因為銲道表面光滑、
不必剃除銲渣、且銲道品質優良，
目前已廣泛應用在半導體產業之高
潔淨金屬管線銲接。台積電新建廠
之金屬管線銲接管理，亦遵循國際
銲接相關規範（如 ASME、AWS、
SEMI）標準，建立並執行管路銲接
管理機制，透過人、機、料、法等
多方面進行認證與管理，銲接人員
須通過銲工考試完成認證、銲接設
備亦須完成年度例行保養校正、銲

NEW FAB ENGINEERING JOURNAL SEPTEMBER 2014 95