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表 6、燃燒排氣管路架構圖
樣式 排氣管路
燃燒式 第一代
SiH 4
第二代
SiH 4
CDA
稀釋式 第一代 SiH4
第二代
GN 2
CDA SiH 4
於矽甲烷的自燃特性，與空氣接觸 氮氣於稀釋管內將矽甲烷濃度稀釋 暴露於危害性氣體之風險。以某廠
後便於燃燒排氣管口燃燒，產生白 低於燃燒下限，最後再以壓縮空氣 牌氣櫃為例 表7 ，矽甲烷鋼瓶供應
色危害性極低的二氧化矽釋放於空 做第二段稀釋處理，監控氮氣與壓 系統沖吹程序為：管路製程氣體移
氣中，後期將燃燒排氣管路改良加 縮空氣流量，確保混和比例達爆炸 除、換瓶前沖吹、更換鋼瓶、鋼瓶
長，使矽甲烷於燃燒排氣管內燃 下限需求。 接頭氦測漏、高壓保壓、換瓶後沖
燒，較長的燃燒排氣管使二氧化矽 吹、低壓段真實氣體吹淨。第一代
能沉積於管口減少飄散。近年來以 大宗矽甲烷鋼瓶供應系統的差異為
稀釋排氣管路取代，有別於直接與 高低壓段同時進行真實氣體吹淨，
空氣接觸燃燒的稀釋方式，第一代 矽甲烷氣櫃軟體 由於管路較長沖吹所需的氣體量
稀釋排氣管原本設計為利用鼓風機 大，因此第二代大宗矽甲烷鋼瓶供
將空氣送入管內與排放之矽甲烷反 程序介紹 應系統加裝高壓雙隔離閥沖吹程序
僅需於高壓段進行，加裝此閥優點
應燃燒 表6，但鼓風機之壓縮空氣
可減少矽甲烷浪費、排放量與沖吹
立即將排放之矽甲烷稀釋，使其濃
沖吹程序 氣體需求量約九倍。
度低於燃燒下限 1.37% 並低於八
小時日時量平均容許濃度 5ppm。 鋼瓶用罄需執行氣體管路沖吹程
由於稀釋處理方式更為簡單且安 序，將管路內製程氣體完全移除，
全，因此設計第二代稀釋排氣管以 如此，才能確保人員拆卸鋼瓶時無
300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 27
