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Tech
Notes
技術專文
表 9、氦測漏機比較表 [8]
型號 ASM 102S ASM142 ASM310
測漏極限(mbar•L/s) 1x10 1x10 -7 1x10 -7
-7
燈絲材質 Tungsten Tungsten Ir/Y 2 O 3
氦氣抽氣速率(L/s) 無 1.3 1.7
最大入口壓力(mbar) 無 10 15
氦氣測漏機
吸頭型式
抽氣速率大訊號相對穩定，氦測
圖 11、條碼系統連結方式
漏機吸頭原本使用不可撓之硬式偵
測吸頭，為增加量測方便性與操控
Primary Secondary
性，將其改良為軟式偵測吸頭，如 Backup
SQL
SQL
此於密集之管路盤面間可輕易量測 SCADA Database Database
Server
任意 VCR 測漏孔。
Enthernet
條碼系統與換瓶自動防呆機關
Ethernet IO
利用氣櫃、鋼瓶、人員條碼建置換 Bar-code RS232
Reader
瓶防呆系統 圖 11 ，作動機制為系統 乾接點 訊號
進行自動沖吹程序至換瓶步驟時，
無線基地台
作業人員必須以 PDA 刷氣櫃、鋼 Micro Logix 乾接點 訊號
瓶、人員條碼，經氣櫃 PLC 送訊 PLC
無線模式 有線模式 現場設備
號至條碼系統判斷條碼皆正確無誤 氣體房 (SubFab) 氣櫃
後，回傳指令至氣櫃使自動防呆機
關 (Auto Guard) 自 動 開 啟 圖 12 ，
人員方可將扭力板手置入接頭進行
更換鋼瓶步驟。條碼系統可避免人 結論 改善。供應架構與鋼瓶方面，矽甲
烷系統建議選用大宗氣體鋼瓶供應
員上錯不同物料之鋼瓶、氣櫃邊，
系統，減少鋼瓶更換頻率、洩漏風
或任意步驟更換鋼瓶，確保更換鋼
經過學、業界之技術研究與實務經 險與生產成本，鋼瓶瓶頭閥使用可
瓶正確性。
驗，使得矽甲烷供應系統在鋼瓶、 遠端操作的氣動式連結膜片閥以提
軟硬體及人員操作之安全性有顯著 升操控方便性與安全性，並經計算
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