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技術專文
表 1、矽甲烷之物理及化學性質 [3] 圖 1、矽甲烷供應系統
參數 數值
鋼瓶構造
外觀 無色氣體
鋼瓶尺寸‧瓶頭閥‧限流墊片
沸點 -112°C
熔點 -184.7°C
氣櫃硬體設施
在一大氣壓，20°C下之氣體密度 0.084 kg/m 3
管路盤面‧廢氣排放管路
分子量 32.12
燃燒界限 1.37% - 96%
人員操作
自燃溫度 -50°C
鋼瓶及pigtail固定
時量平均容許濃度恕限值(TLV-TWA) 5ppm 氦測漏方法
條碼系統
急毒性 LC 50 =9600ppm/4hr，
大鼠吸入
圖 2、矽甲烷鋼瓶氣櫃 圖 3、大宗矽甲烷鋼瓶供應系統架構
SiH SiH4 BOX VDP SiH4
SiH4
Room SiH4 BOX
管路，最後一部分係關於人員操作 氦氫混合氣沖吹用鋼瓶 圖2 ，因製
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方面，囊括鋼瓶及 pigtail 固定、氦 程用量、成本與安全性等考量，大
測漏方法與利用條碼系統建置換瓶 宗矽甲烷鋼瓶 (Bulk Silane Cylinder
1 10%氦氮混合氣鋼瓶； 矽甲烷鋼瓶
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程序防呆機制等，本文將針對此三 System) 供應系統因應而生。兩種
大部分進行實務探討。 系統皆含開放式設計、灑水系統、
氮氣沖吹、安全相關之火焰與氣體
偵測器等設施，最大差異性為大宗
矽甲烷供應系統 矽甲烷鋼瓶供應系統利用建築物將
概述 鋼瓶構造演變 大宗矽甲烷鋼瓶、pigtail box 與人
員操作介面區隔為三個區域 圖3 ，
此設計可大幅降低發生重大傷害之
本文將矽甲烷供應系統區分為三個 影響範圍。因大宗矽甲烷鋼瓶容量
鋼瓶尺寸
架構 圖1 ，首先為鋼瓶構造，包含 為矽甲烷鋼瓶之 9.2 倍，可延長約
鋼瓶尺寸、瓶頭閥與額外加裝之限 矽甲烷鋼瓶供應系統 (Silane Cylin- 九倍供應時間，減少人員更換鋼瓶
流墊片，第二部分為氣櫃硬體設 der System) 廣泛應用於半導體業， 頻率，降低工作量、洩漏風險，大
施，包括管路盤面設計及廢氣排放 其具備兩支矽甲烷鋼瓶與一支 10% 容量包裝亦可減少生產成本。
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