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技術專文

表 7、某廠牌氣櫃沖吹程序比較表

供應系統 矽甲烷鋼瓶 第一代矽甲烷鋼瓶 第二代矽甲烷鋼瓶

沖吹程序 高低壓段 排氣 高低壓段 排氣 高壓段 排氣

高壓段 前吹 高壓段 前吹 前吹
氦測漏 氦測漏 氦測漏
保高壓 保高壓 保高壓
後吹 後吹 後吹

無 高低壓段 真實氣體吹淨 真實氣體吹淨

急冷（絕熱膨脹）與 圖 7、急冷與震動效應實驗示意圖
震動效應之研究

UV/IR Pigtail Box
Dect.
大宗矽甲烷鋼瓶供應系統管路長體 N2 venturi vent C3-R
積大，使得送氣造成 pigtail 產生急 OC
0.5
冷與震動效應，依定性觀察發現管
路明顯晃動且溫度降低造成水氣冷 C2-R
HPI
凝於管路外壁，此兩效應可能造成 V8-R
瓶頭閥接頭密合度變差導致矽甲烷 V1-R
外洩，故研究矽甲烷氣體由鋼瓶流 V7-R V2-R
F1-R
動至高壓段管路壓力差對溫度與震
動之影響。 圖7 送氣程序由鋼瓶開
關瓶頭閥 (ACV) 使氣體流至高壓段 PT
TAP-R
管路中，製造不同之兩端壓力差， VPT-R V3-R
手動開關瓶頭閥模擬送氣程序，利 PT
用熱像儀與震動儀量測溫度變化與 震動儀
PT1-R 熱像儀
震動加速度，熱像儀觀測位置為鋼
ACV
瓶接頭至 pigtail 前端，而震動儀架
設於 pigtail 前端，實驗條件如 表8，
由實驗結果可知當鋼瓶與高壓段管
路壓力差越小，pigtail 震動加速度
與溫度降低幅度皆隨之變小 圖 8、
9，因此鋼瓶與高壓段管路之壓力
差為急冷與震動效應重要因素，可
藉由軟體程式修改送氣程序為瓶頭 人員操作之安全 他方向之外力，仍有傾倒風險。
閥 (ACV) 點放使壓力差縮小，降低 如 圖 10，目前操作人員於鋼瓶區使
急冷與震動效應。然而，送氣產生 防禦 用束帶將大宗矽甲烷鋼瓶固定於地
之震動可於 pigtail 兩端加裝支撐架 面，提供完善的固定功能。
增強固定，使震動效應更有效地減
矽甲烷鋼瓶供應系統 pigtail 長度約
輕。 鋼瓶與 Pigtail 固定
一公尺，可由氣櫃盤面固定，大宗
矽甲烷鋼瓶於開放式氣櫃中以鏈條 矽甲烷鋼瓶供應系統 pigtail 總長超
固定避免地震或其他外力因素造成 過兩公尺，需以支撐架支撐，否則
傾倒，而大宗矽甲烷鋼瓶需以堆高 非常容易晃動且換瓶銜接時操作困
機運送，故其放置於支架上方，支 難，但單一支撐架在送氣時仍會
架僅提供側邊固定之功能，若遇其 有震動效應。為解決震動效應之影

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