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圖 15、量測機台主機板司職示意圖 圖 16、人員實際改機流程說明

假設原始滴定是：(2+3.00)×0.60=3.000
若下次量測參與反應硫酸鈰量2.0005
滴定結果變成：(2.0005+3.00)×0.60=3.0003
人員將slurry定量管減半
定量減半，硫酸鈰反應量以及預加量也需減半：(1+1.50)×0.6=1.500
雙氧水數值異常，系統警報發出
人員進行校機，會進行Factor放大 =>1.200

(1+1.50)×1.2=3.000 =>雙氧水數值正常，系統警報解除
若下次量測參與反應硫酸鈰量1.0005
則(1.0005+1.50)×1.2=3.0006
部件作動主機板 軟體計算主機板 雙氧水變化量(3.0006−3.0000=0.0006)

圖 17

假想數值加入：(1+4.00) × Factor = 3.000 => Factor = 0.6!
若下次量測參與反應硫酸鈰量1.0005
螺桿推進運作 滴定結果計算 則：(1.0005 + 4.00) × 0.60 = 3.0003 => 和執行減量前結果一致 !

圖 18、混酸異常實驗結果

OOS:0.950~1.050% OOC:0.970~1.030% Internal:0.990~1.010% Accuracy:±0.000% Resolution:0.001
日期區間：03/15/2016 07:00:00~03/30/2016 07:00:00
1.050
1.040
1.030
故意混酸失敗
1.020
1.010
1.000
0.990
0.980
0.970
0.960
0.950
03/15 03/15 03/16 03/17 03/17 03/18 03/19 03/19 03/20 03/20 03/21 03/22 03/22 03/23 03/24 03/24 03/25 03/25 03/26 03/27 03/27 03/28 03/29 03/29 03/30
07:00 22:00 13:00 04:00 19:00 10:00 01:00 16:00 07:00 22:00 13:00 04:00 19:00 10:00 01:00 16:00 07:00 22:00 13:00 04:00 19:00 10:00 01:00 16:00 07:00
Tagname Description Min Max Units
P7SDSA_L13F6B_GB_H2O2 P7 L13F6B H2O2 0.950 1.050 %

ATRs 消失的六向閥之成果 另 外，H 2 O 2 trend chart 曾 被 質 疑 新式 Piston 及外穿式 O-ring
是否有太過穩定而呆機之狀況，因 之成果討論
實際機台測試點數已超過八個月，
此期間除了因為電極電壓值異常進 此有故意進行機台的惡化實驗：混 過往因為 O-ring 之磨耗使得密合
行更換、以及槽車雙氧水濃度變化 酸異常操作。實際利用非供應端的 度異常，影響了硫酸鈰的滴定，最
造 成 的 trend chart 起 伏 以 外， 平 桶槽，故意做出水比例偏多的研磨 終使機台觸發 ATRs 的假警報（手
常雙氧水滴定之結果，是改造前、 液，結果系統確實能逮到雙氧水濃 動檢測正常），並且會和線上用
後不變。除了 O-ring PM 外，未曾 度偏低的異常狀況並發出警報 圖 量相關，用量越大、檢測越頻繁，
有過任何相關 H 2 O 2 警報，相較於 便越容易造成問題，幾乎是每台一
18，證明不會因為太過穩定而呆掉，
2015 年同一廠區因為六向閥而造 個月都會異常一次。計算 2015 年
由以上之成果已證明將六向閥移除
成之警報共四百餘次，若此法能全 O-ring 造成之相關警報高達 576 次
之概念已具有實戰之可能性。
面施行，相信可大幅減輕廠務運轉 圖 19，狀況排除之人力負擔龐大，
壓力。 亟需解決此問題。

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 45