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表 1、各項高分子特性簡易比較（紅表示材質偏硬，不易撐開） 圖 10、外穿式橡膠 O 型環實際照片

特性品名 PE PP 4F PEEK Viton
聚乙烯 聚丙烯 鐵氟龍 塑膠 半氟橡膠

硬度 D68 D75 D55 D86 <D30

耐熱溫度 80°C 105°C 260°C 260°C 200°C
酸鹼程度 弱酸鹼 強酸弱鹼 強酸鹼 強酸鹼 強酸弱鹼
摩擦係數 0.18 0.37 0.04 0.02 0.25~0.60

徑馬達回拉而脫落，如 圖 11 ，實際
圖 11、Piston 改良前後圖
安裝結果，如 圖 12。

ATRs 減量滴定，軟體計算優化
廠內使用之硫酸铈為相當高價的化
學品。此藥劑於 ATRs 之使用量正
比於 slurry 的定量，目前使用的是
原廠 1 毫升定量管搭配六向閥使
用。其他廠區曾提出將定量管縮減
便能達到減量之成效，但此減量實
際應用時，對滴定結果會產生雙氧
水量測穩定性不佳之問題，造成品
質圖 (trend chart) 被監控單位挑出
檢討，反而增加廠務人員工作負擔
取液口 取液口
圖 13。
基於懷疑立場，直接檢驗 ATRs 的
圖 12、實際完整安裝圖 歷史資料，取 21 筆資料出來，將
每一筆當量點，扣掉上一筆當量點
作出折線圖可發現，平均每筆滴
定，硫酸鈰的使用差異量是落在
0.0003~0.0005 毫 升 之 間 圖 14 ，
小數點下四位，這意味著每次的滴
定誤差是非常微量的，但為何卻
造成同一鍋研磨液之雙氧水 trend
chart 有 0.005，小數點下三位以上
的誤差產生？表示軟體計算方式，
必須深入檢視。
因此，檢視 ATRs 軟體計算結果，
可以發現其 H 2 O 2 數值公式為：
( 參與反應硫酸鈰量 +
硫酸鈰預加量 )×Factor
= H 2 O 2 數值 (%) ........................ 式一
由上式我們可知，無論是何種雙氧
當 O-ring 密合度發生異常時，便 題，將 Piston 的取液口修改成向外 水濃度的 slurry，滴定結果都一樣
會明顯造成步徑馬達計算的推進量 突出而內徑不變的圓柱頭 (suction 需要乘上修正常數 (Factor) 才會變
和實際滴定量不符合的狀況，就會 head)，並且在前端做出微縮，避 成測定的雙氧水濃度值。此因原廠
有數值異常問題；因此，針對此問 免外穿式 O-ring 裝上後，會因為步 自動滴定儀是設計給多種化學物品

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 43