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技術專文

圖 13、取樣減半後，雙氧水量測品質圖

OOS:0.730~0.790wt% OOC:0.740~0.780wt% Internal:0.750~0.770wt% Accuracy:0.000wt% Resolution:
日期區間：02/24/2016 14:47:20~03/03/2016 21:47:20
0.790
0.790
0.784
0.780
0.778
取樣減量執行後 復歸
0.772
0.770
0.766
0.760
0.760
0.754
0.750
0.748
0.742
0.740
0.736

0.730
0.730
02/24 02/25 02/25 02/25 02/26 02/26 02/26 02/27 02/27 02/27 02/28 02/28 02/28 02/29 02/29 02/29 03/01 03/01 03/01 03/02 03/02 03/02 03/03 03/03 03/03
16:47 00:59 09:12 17:24 01:37 09:49 18:02 02:14 10:27 18:39 02:52 11:04 19:17 03:29 11:42 19:54 04:07 12:19 20:32 04:44 12:57 21:09 05:22 13:34 21:47
Tagname Description Units Min Max Units
P7SDSA_L118178_GB_H2O2 P7 L11 8178 H2O2 wt% 0.730 0.790 wt%

圖 14、硫酸鈰铈使用差量圖

0.0006

0.0005
0.0004
毫 升 0.0003

0.0002
0.0001 硫酸鈰差量

0
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20
樣品號碼

使用，但每種化學藥品的減量線並 因此若取樣量減半，並要維持原本 16 例子，將計算程式中，硫酸鈰添
不相同，換言之，若取樣濃度不同， 的量測的雙氧水變化量，則 factor 加量改成 4.00，如 圖 17 說明，則
便會需要利用 factor 去修正滴定結 數值必須要和減量前一樣。本文改 取樣減半後，修正常數便會和減半
果。從上述之公式，表示前一筆和 變滴定儀「計算程式」中的硫酸鈰 前一致。
後一筆滴定的變化值會等於： 預加量 (offset)，而不改變「作動
程式」 螺桿步徑馬達的實際推進
( 硫酸鈰滴定差異量 )×Factor
量 圖 15 ，所以不會影響實際滴定
= 每筆滴定雙氧水變化量 ........ 式二
的真實性，便可維持取樣減半後的
而當取樣量減半，對同一種研磨液 factor 數值和減半前一樣。 結果與討論
而言，雙氧水的含量是固定的，若
圖 16 人員實際改機流程說明，根據
軟體計算要得到一樣的濃度值，則
結果可知，變化值會因此放大。
必須將 factor 放大兩倍，然而，從
將六向閥移除的理念，已成功安裝
圖 14 便已知，硫酸鈰的滴定差異量 在軟體設定中，放大 ATRs 硫酸鈰
並實踐；而新式 piston 以及外穿式
是固定的區間，因此，就公式二可 預加量的「計算值」，將假想數值
O-ring 安 裝 了 九 台；ATRs 軟 體 優
知，當 factor 被放大，變化值也就 設定，使得 Factor 等於執行定量
化的方式則已驗證。
會跟著放大，此證明為原廠系統的 減半前，但實際動作設定，螺桿預
計算方式造成此誤差結果。 加硫酸鈰設定量不去做改變；依 圖

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