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技術專文

表 1、貢獻生物急毒性之半導體製程廢水 表 2、2015 年十五 A 廠區生物急毒性 (TUa) 申報數據

廠區毒性 項目 Phase 物種 Sample 1 Sample 2 結果 Sample 1 Sample 2 結果
物質來源
P1 脊椎 <1 <1 PASS <1 <1 PASS
機台排放 氟鹽、TMAH、NH 3 -N、銅、
H 2 O 2 、介面活性劑 無脊椎 >5 >5 >5 >5
系統殺菌 氯鹽、非氧化性殺菌劑、次 P2 脊椎 2.63 1.91 Fail 1.37 <1 PASS
氯酸鈉
無脊椎 >5 >5 >5 >5
生活廢水 硝酸鹽氮、亞硝酸鹽氮、懸
浮固體 P3 脊椎 >5 >5 Fail >5 >5 Fail

系統操作 樹脂再生廢水、pH 加藥控 無脊椎 >5 >5 >5 >5
制、混凝/膠凝劑、懸浮固
體、腐蝕抑制劑 檢測目的 申報採樣 CTSP採樣(資料收集)

表三、次氯酸鈉與殺菌劑對放流水生物急毒性之影響

Name IARC CMR 1 水環境毒性 實際放流濃度(mg/l) LC50 (mg/l)

次氯酸鈉 3 無 急毒性 78.92 0.038 - 0.065 mg/l (96 hours)
第1級 大鱗鮭魚(Oncorhynchus tshawytscha)
2,2-二溴-3-氮基丙醯胺 無 無 慢毒性 5.4 1 mg/l (96 hours)
(殺菌劑內含成分) 第3級 虹鱒(Oncorhynchus mykiss)
2-甲基異噻唑啉-3-酮; 2-甲基-3(2H)- 無 無 急毒性 1.04 0.55 mg/l (96 hours)
異噻唑酮; 2-甲基異噻唑-3(2H)-酮; 第1級 胖頭鱥(Pimephales promelas)
(殺菌劑內含成分)

伴隨水處理、回收系統的增加，次 殺菌劑是貢獻放流水生物急毒性重 文獻回顧
氯酸鈉與殺菌劑的使用量也隨之提 要一環，如 表1 ，除水處理系統外，
升，該類功能之化學品是貢獻放流 次氯酸鈉用於冷卻水塔水質控制也
水生物急毒性重要一環，本計畫係 會造成環境飛濺問題，因此欲藉由 本計畫希望藉以殺菌方式的選擇與
發展物理性殺菌取代化學性投藥， 物理性殺菌法取代化學性投藥，以 成本評估希望未來得以以物理性殺
減少放流水之生物急毒性 (TUa)。 降低對環境之影響。 菌取代化學性投藥，減少放流水之
目前科管局所訂定之「放流水納管 生物急毒性 (TUa)，對環境保護與
2015 年十五 A 廠生物急毒性 (TUa)
標準」，並無法充分反映個別毒性 生態保育盡一份心力。水處理、回
自檢的數據中，報告數據不盡理
物質排入承受水體對於生物急毒性 收系統之菌落數控制是維持系統穩
想（合格標準兩種生物擇一：TUa
(TUa) 之貢獻，係因化學物質間彼 定度相當重要之關鍵。常見之殺菌
<1.43 為合格）。由此可見在水質
此產生協同、拮抗、加成、增強等 方式以化學性投藥（次氯酸鈉、殺
毒性的減量，我們還有很大的努力
不同毒性反應作用。 菌劑）殺菌為主，欲以物理性殺菌
空間，如 表2。
方式取而代之，目前常見之物理性
半導體製程放流水來源種類繁多，
針對水處理系統添加之次氯酸鈉以 殺菌則包括，高、低溫滅菌、高壓
對放流水生物急毒性有貢獻的水體
及非氧化性殺菌劑進行分析與調 滅菌、UV 殺菌、脈衝殺菌等等，
包含機台排放、系統添加、生活
查，該類化學品對於水環境毒性的 不勝枚舉。每種殺菌方式各有優劣
廢水、系統操作等等，其中針對
分級皆屬於第一級毒性物質，並由 與適用之產業，為選擇合適之殺
機台排放之各類廢水已建立氨氮、
系統添加量回推放流水體濃度，次 菌方法，我們從既有硬體設施、建
TMAH、廢硫酸處理系統處理相對
氯酸鈉甚至高達 78 mg/l，如 表3 ， 置與運轉成本以及殺菌效果進行評
應之製程機台廢水，減少了大部分 估。
由數據上得到的驗證，相信以物理
的生物急毒性貢獻來源，為了再減
性殺菌取代化學性投藥對於放流水
少放流水體的生物急毒性貢獻，經
毒性的減量有相當大的幫助。
縝密評估後發現系統的操作為了控 溫度控制─濕熱法
制菌落數添加了大量的次氯酸鈉及 濕熱法殺菌（巴氏高溫滅菌）以
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