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New Sterilization

Technology -

Composite

Pulse and

Plasma

Sterilization

Technology

生態保育水活化

殺菌技術大進化─

脈衝電漿殺菌技術

文│徐愷澤│中科廠務二部│

前言

近年來全球環保意識的抬頭，環境保護已由污染防治、廢棄物
中科十五廠四期尾氣處理回收水系統 攝影/洪湘寧
處理等管末處理政策，逐步演化為綠色生產、資源回收再利用
等永續發展策略，以零廢作為共同努力目標。台灣為工業密集
度極高之國家，環境保護成為各界所重視之重要課題，本公司
致力對環境之友善，推廣永續發展的綠色製造理念，並持續導
入測試高級環保技術，以謀求徹底解決之道。

於 2011 開始加入台積廠務大家庭，經歷 F15P1~P4 新廠建置
愷 澤
專案，目前負責 PCW 以及 TMAH 系統運轉，
並投入放流水生物急毒性減量計畫，
身為節能志工的一員，希望地球更美好。

徐 Kai-Tse Hsu

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 61