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酸銨中的 70% 的水分汽化或者當
圖 6、MVR 應用至製作固體硫酸銨
作廢水處理。如 圖7 所示，如果在
廠區內導入 MVR 技術的話，製作
80%蒸氣 MVR
蒸氣 減廢又 95% 硫酸銨固體將去掉約 68% 的
壓縮機 水，而此水分可以回收至廠區再利
節能
用，不用當作廢水排掉。而 95%
75˚C蒸氣 硫酸銨固體清運至廠商處理將會使
99%
熱交換器 滾軸式 硫酸銨 廠商減少汽化或者排放 68% 廢水。
熱交換器 #2 結晶罐 乾燥爐
30% #1 (結晶) 如 表2 所示，總體效益來看：產生
硫酸銨
(液態) 45%過飽和結晶液 之冷凝水，可在廠區回收再利用；
冷凝水 (固液共存) 離心式 95% 30% 硫酸銨液體提濃至 95% 硫酸
脫水機 硫酸銨
(結晶) 銨固體，將會減少 68% 運輸車次；
在廠區以較節能之 MVR 技術取代
廠商較耗能之鍋爐設備，可以減少

圖 7、MVR 技術導入增加水回收及廠商減少廢水排放 委外處理費用，對廠商可以減少耗
能之鍋爐設備使用，對環境碳排放
台積公司 回收處理廠商 導入前 來說一年約可減少 12,520 噸碳排
放量（相當於 33 座大安森林公園
碳吸收量），此技術如果導入將會
硫酸銨 運輸30%硫酸銨(液體) 達到三贏局面。
硫酸銨
儲存槽
儲存槽 一年運輸30%硫酸銨78,000噸 廠商處理完後
(含54,600噸的水) 將54,600噸的水
排放/汽化
台積公司 回收處理廠商 導入後
結論

MVR
硫酸銨 運輸95%硫酸銨(固體)
儲存槽 廠商處理完後 以 2016 年廢棄物量來看，若導入
一年運輸95%硫酸銨24,960噸 將1,248噸的水
(含1,248噸的水) 排放/汽化 MVR 熱回收節能技術，將液態硫
廠內回收53,040噸回收水
酸銨由 30% 去水提濃至 95% 固
態硫酸銨，並搭配後段廠外再利用
廠商，將會使每年硫酸銨產出量
表 2、效益分析推估
由 78,000 噸 降 至 24,960 噸， 不
但可大幅降低硫酸銨廢棄物外運量
分析項目 減量前 MVR 備註
（2015年） 減量後 68%，同時可減少 84% 碳排放量，
約 33 座大安森林公園碳吸收量，
Unit waste (kg/12” wafer) 42.6 33.4 減少21.6% 達到節能減廢之雙贏效益。期望以
此技術導入廠區，將廢棄物衝擊減
硫酸銨產出量（ton/年） 78,000 24,960 減少68%
至最低，以盡到環境保護、永續發
碳排放減量 NA 12,520 減少84%（含廠內/外），相當 展的企業社會責任。
（ton, CO 2 e/年） 於33座大安森林公園碳吸收量
運輸車次（車次/年） 3,900 1,248 減少68%

運至廠商製作氨水與硫酸鈣，廠 廠商使用鍋爐將 30% 硫酸銨蒸
+
商只需要提出 [NH 4 ] 製作成氨 發去水，再經過乾燥爐產生 99%
水，剩餘的水變成廢水然後經過 硫酸銨固體，此製作過程鍋爐需 參考文獻
處理完後排放。 使用重油，對環境沒那麼友善， [1] 匯能科技，MVR 系統介紹
最後 70% 的水分也會被汽化或 [2] 中鼎工程公司，廢熱回收節能技巧
– 再利用轉製 99% 固態硫酸銨 [3] GEA, Evaporation Technology Using
者當作廢水排掉。
如 圖6 所示，當 30% 硫酸銨清 Mechanical Vapor Recompression
[4] 財團法人台灣產業服務基金會，機械蒸
運至廠商製作 99% 硫酸銨固體： 上述兩種做法最終就是將 30% 硫 氣再壓縮系統廢水處理技術及案例介紹

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 71