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80/20 法則， 表1 指出 2016 年廢
圖 1、牛奶運輸概念啟發廢棄物減量
棄物最大量：30% 硫酸銨來做減量
標的物。30% 硫酸銨內含 70% 水
分，以牛奶製成奶粉的方式聯想，
只要將 30% 硫酸銨中的水分去除
掉，便可大幅減少廢棄物清運量。
以 300mm Fab 一 年 產 出 78,000
噸 30% 硫酸銨，將硫酸銨去水提
濃至 95%，硫酸銨廢棄物量將下
降至 24,960 噸，達到廢棄物減量
表 1、2016 年廢棄物產出量
68%。
(TON/M)
8,000
7,000
6,000
5,000 文獻回顧
4,000
3,000
2,000
MVR 簡介
1,000
0 MVR 為九十年代所開發出來的節
W-(NH ) SO W-H SO Sludge VOC 清洗廢液 W-IPA W-Thinner W-TMAH Others
能設備，發展初期能源成本及環保
意識並非主流考量，因此系統並沒
有被大量應用。當前綠能與環保成
為顯學，此系統節能的特色便成為
前言 氣再壓縮系統（Mechanical Vapor 最大亮點。現況 MVR 技術已被廣
Recompression，以下簡稱 MVR） 泛應用在各領域上，包含化工廠、
技術，其中高溫蒸餾及熱風噴霧乾 生技廠、面板廠等 [1] 。
全球氣溫上升，氣候變遷，綠能與 燥，是利用熱源將水作升溫及相的
永續發展是被密切關注議題。本公 轉換達到脫水之目的，然從節能及 目前市面上蒸發濃縮製程有單
司不斷的追求綠色製造，盡其所能 可行性分析，皆無法做到有效熱回 效或多效蒸發系統，如 圖2 所
示 [2] ，其單效蒸發系統之性能係
找尋對環境友善之技術達到減廢節 收，因此乾燥過程會耗費大量能
數（Coefficient of Performance,
能之效益。因應產能擴充及先進製 源，唯有 MVR 技術藉由蒸氣壓縮
COP） 為 1.0， 而 MVR COP 可 高
程投入，廢棄物總量將逐年成長， 回收再利用，可將汽化熱回收再利
達 30，換句話說 MVR 的能耗約單
所以廢棄物減量是我們必須努力的 用，以有效達到去水提濃之目的。
效蒸發系統的 1/30。工業界應用
課題。隨著廢硫酸於廠內回收再利 經過計算，此技術若導入 300mm
在蒸餾、濃縮、海水淡化、及廢水
用，大幅降低委外清運量，隨著占 Fabs，對台灣環境來看一年可以減 [3]
零排放等 ，不只可以有效節能，
比 調 整，2016 年 30% 硫 酸 銨 已 少 12,520 噸碳排放量（相當於 33
對環境來說也是相當友善之技術。
躍居最大宗廢棄物，其中 30% 硫 座大安森林公園碳吸收量），對公
酸銨約含 70% 水分，如 圖1 ，套 司來說一年可以減少 1 億 7 千萬處
用「鮮奶」及「奶粉」的概念，何 理費用，委外在利用廠商方面也可 MVR 原理 [2,4]
需浪費資源作水分處理或運送，除 以減少處理成本及廢水減量，創造 MVR 原理如 圖3 所示 [2] 所示，步
了增加廢棄物量還增加委外處理成 三贏局面。 驟 1：母液經由泵浦傳送至熱交換
本。基於上述想法我們開始搜尋可 台積公司因應新世代製程技術開發 器加熱→步驟 2：被加熱之母液傳
行方案，將 30% 液態硫酸銨去水 及產能開出，會伴廢棄物產生量 送至蒸發罐汽化成蒸氣→步驟 3：
提濃為固態硫酸銨，當中包括高溫 上升，公司訂定五年減廢計劃， 產生之蒸氣經過蒸氣壓縮機壓縮而
蒸餾、熱風噴霧乾燥及機械式蒸 未來將作到 50% 廢棄物減量。以 提高溫度→步驟 4：被提高溫度之

於中科廠務水課協助廢棄物減量專案，
朝 鈞
期待能因廢棄物減量營造更友善的環境，
很高興能在廠務這個大家庭成長，
謝謝各位工作夥伴的指導與包容。
張 C.C. Chang

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 69