Page 72 - Vol.23

Tech
Notes
技術專文

Withdraw Copper from

Waste

Copper

Sulfate-

Application of

Annular Cylindrical

Electrochemical Cells

液中求銅－

製程廢硫酸銅

回收裝置應用

竹科十二廠三期高效銅金屬回收裝置 攝影 / 洪湘寧

硫酸銅（CuSO 4 ）為 LSI 銅製程之重要原料之一，其製程（ECP）廢液濃度可達 20 g/L 以上，極具回收
價值。現行因放流水質限制（竹科放流水銅檢出量需小於 1ppm），本公司高濃度廢硫酸銅均採委外清
運方式處理，以減少對於廠區放流水之影響。十二廠三期導入高效銅金屬回收裝置－管式電解還原設備
還原廢硫酸銅中之銅離子為銅金屬，取代傳統委外清運之處理方式，有效將廢棄物資源化，減少廢棄物
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之清運量，善盡企業社會責任。十二廠三期廢硫酸銅平均每月委外清運量 52 M ，廢液濃度更達 26 g/L，
月可回收金屬銅 1,352 公斤，每年可降低廢棄物重量達 630 噸。

關鍵詞/ 廢硫酸銅回收、管式電解還原設備、減廢
Keywords/ Waste Copper Sulfate Reclaim, Annular Cylindrical Electrochemical Cells, Waste Reduction

文│連翊鈞│竹科廠務一部│

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