Page 67 - Vol.23

將率先於十五 A 廠水處理課回收水
系統進行脈衝電漿殺菌單元設置，
再推廣至各其他課，如機械課之製
程尾氣處理系統與冷卻水塔，最後
希望可於本公司平行展開，一同對
生態保育盡一份心力。

結論

脈衝電漿殺菌系統之技術實績，在
菌落數控制能力上表現相當出色，
2016 年第三季於十五廠尾氣處理
回收水系統完成測試與相關資料收
集後，若相關數據皆達到預期，將
於 2016 年第四季正式導入脈衝電
漿殺菌系統，顛覆以往以殺菌劑進
行菌落控制之方式，以物理性殺菌
取代之，使半導體回收水系統除了
達到節水之目的，更能減少放流水
生物毒素的貢獻，使殺菌技術進入
另一個全新的世代。

脈衝電漿殺菌系統預計導入尾氣處
理回收水系統、含銅研磨廢液回收
水系統、酸性廢水回收水系統、鹼
性廢水回收水系統、冷卻水塔、工
業用回收水系統等回收水與次級回
收水處理系統進行抑菌與殺菌，顛
覆傳統之化學性投藥殺菌方式。以
單一套十五廠尾氣處理回收水系統
推估，每年不僅節省非氧化殺菌劑
加藥費用，並減少槽車灌充 48 車
次，降低碳排放量約 2,469 公斤。
脈衝電漿殺菌技術的導入，讓半導
體回收水殺菌進入全新的領域，停
止殺菌劑之添加，以物理性殺菌徹
底取代化學性投藥，減低外排廢水
對環境之影響達到生態保育水活化
之終極目標，更對環境與生態之永
續發展盡一份心力。

參考文獻
[1] Xia Zhiqing, Yang Jun, Ding Congwen,
“Introduction of Ozone disinfection
“.2006
[2] 劉峻幗、梁家禎、廖翊言、楊欣翰、高
明哲，「臭氧高級氧化程序於水質處理
之應用」，計量資訊，第 159 期， 第
35–40 頁 (2014)
[3] 徐愷澤，脈衝電漿殺菌技術 FRC 報告、
SMOC 報告

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 67