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Vision
新象新知
性高的動態製程模擬系統,雖
然不同的程式寫法可以達到相 30
同的功能,但若是架構規劃的 500 Peak Pressure Design Point 250
System Curve
不夠完善,或者不符合實際運 Design Peak Pressure 200
轉的物理特性,儘管階段目能 Power vs. Vol
300
夠達標,但未來想要再進行擴 Static Pres. (MM WG) 400 150
增或修改,就如同在沒有足夠 200 100 Kilowatts (kW)
穩健的地基的建築上進行頂樓
加蓋,會有很大的侷限,即使 100 50
投資更多的時間及成本,效果 Net 3 Net 2 Net 1
0 0
也可能也不盡理想。因此,擬 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0
真程度的選擇在評估階段是必
須慎重考量的課題。
350
300
250
結論及動態製程模擬
200
的未來展望
150
就 如現今的3D模擬幾乎已 100 數列1
是所有建設項目的必要
線性(數列1)
步驟,相信在未來動態製程模 50
0
擬也終將成為工廠追求營運優 0 10 20 30 40 50
化不可或缺的一部分。動態模
擬讓虛擬工廠不再只是單純外
圖 15、透過經驗值將複雜的二次以上的曲線簡化
型的靜態模擬,它可以讓工廠
「活起來」。離線仿真的特性
在半導體廠廠務運轉目前最大 真度,透過長期累積的大數據資料,協助工廠運作得更安全、更穩
的應用,在於為人員緊急應變 定,也更有效率。
的訓練和經驗傳承帶來最佳的
未來希望隨著動態製程模擬技術在半導體廠務運轉的應用越趨成
實戰訓練效果,可大幅減少誤
熟,能更進一步將其應用在協助系統容量的評估、流程的控制,以
操作帶來的損失。
及製程的配方調整,實現在設計規劃階段就可以完整模擬建廠後的
接下來,我們將著重在實際資 運轉狀況,在施工階段藉由虛擬試俥來預先進行系統上線測試,提
料蒐集,結合廠內的真實運轉 早發現實際試俥過程中可能產生的問題、縮短建廠的時程,成廠後
資料來提升現有模擬系統的仿 也能繼續使用在工廠製程改善,提升營運效率。
附註
註1 快照(snapshot)–與自動化系統的快照相似,提供用戶凍結並保存製程參數和狀態,以便之後快速省時地恢復系統。
註2 第一原理(First Principle)是指不必經過驗證,即已明白的原理,即是理由已經存在於原理之中,也是自證原理。就範圍大小區分,
第一原理可以是解釋所有事件的終極真理,也可以視為一個系統一致性、連貫性的一種根源性的解釋。 [6]
參考文獻
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[2] http://www.oreda.com/
[3] 楊光輝,化工流程類比技術及應用,山東化工,37卷8期,頁35-37,2008。
[4] 范恩祖,建築資訊模型於半導體廠房系統數量計算之應用,交通大學,工學院專班工程技術與管理組,碩士論文,2014。
[5] 徐嘉立,全面廠務服務方案之研究-以半導體產業為例,清華大學,高階主管經營管理碩士專班,碩士論文,2005。
[6] 國家教育研究院-雙語詞彙、學術名詞暨辭書資訊網 http://terms.naer.edu.tw/detail/1310644/
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