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Pre-cooling Coil
OA in Summer
35°C/80%

Pre-cooling
19°C/100%

Dehumidity
9°C/100%
Dehumidity Coil

OA in Winter
5°C/50% Re-heating Coil
Pre-heating
23°C/15.6%

Pre-heating Coil

圖 10、冬季 MAU 設備內盤管於空氣曲線趨勢圖

換。製程模型模擬的數值及狀態，透過OPC即時傳送給控制系統， 後的更新及維護也是一大問
同樣控制系統端的資料透過相同的方式回傳給製程模型。此次的無 題，大多數的工廠會因提升產
塵室空調及排煙模擬系統共使用了368個虛擬I/O點與控制系統進行 能或其他需求修改製程，但常
連接 圖12。 會因為變更後的真實數據取
得不易或不完整，增加模擬系
開發劇本及評分模組 統維護的困難。此外，隨著擬
透過模擬軟體內建的操作員訓練管理介面(Operator Training 真度要求的提升，動態即時運
Management, OTM)功能模組，可進行劇本與評分標準的規劃，使 算增加也容易造成系統效能不
系統觸發預先建置的各種突發狀況，如設備故障、火警或氣體洩漏 足，延遲模擬系統的反應。
等等，以此來檢測受測者是否能在限定的時間內正確完成所有應變 進階建模元件對於程式開發效
步驟。此外，客製化的指導者介面 圖13，將協助導師觀看學員在系
能的提升有顯著的幫助，但目
統上的應變操作行為，給予適時的糾正。 前所提供的套裝元件大多以
支援石化產業為主，對於像
整合測試與結果分析
無塵室這種很大開放空間(Ball
本階段為系統開發的最後一個階段，目的是將所蒐集到的運轉實際 Room)的氣流流場變化，如擴
數據與模擬模型所產出的結果進行比對，透過反覆的測試與參數調 散、傳導行為及流場分佈的
整，達到所需要的擬真度或縮短製程模擬的反應時間，提升訓練的 模擬支援較少。以此案例而
效率。而透過學員考核的測試報告 圖14可了解其對異常發生應變的 言，由於開放空間比起密閉環
熟悉度與能力。 境內的流體行為更加複雜，在
規劃的階段要考慮的變因也更
多，而在成廠取得特定完整的
動態製程模擬在半導體廠房應用的挑戰
運轉數據，或各種突發與極端
狀況的實驗資料也比建廠時期
構 建一個動態製程模型是很複雜的，要達到好的擬真度，龐大 困難，因此，如何透過僅有的
資料盡可能的提升擬真度是一
且繁複的數學計算常會讓人望而怯步，若是沒有良好的工具
輔助，這將會是一項非常耗費時力的工程。而模擬系統開發出來 大挑戰。此外，雖然模擬軟體

300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2016 105