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圖 6、無塵室 MAU 空調 P&ID


                                                                                   收集資料與分析
                   4000                         69%    80%
                        RZR 13-1250                        84%                     問題及範圍確定後,接下來
                        Ref. density Rhol = 1.2kg/m 3         80%
                        Installation = B                        ETAt for n_max     就需要收集系統設計資料,
                   2000  Thick red lines = limitation of        70%
                        the recommended area                     60%               以及模擬所需的現場實驗數
                                                                  50%              據,像是P&ID  (Piping  and
                   1000        Pw[kW]                              nv[1/min]       Instrumentation  Diagram) 圖
                                                                   33%
                  Total pressure [pa]  650                         1000            6、設備或元件運轉曲線  圖
                                                                   1145
                                                                                   7 、PF D   (Pr ocess  F low
                    400
                                                                   800
                                                                                   Diagram)、空氣線圖等等,以
                                                                   600
                    200                                            700             協助模型的設計及後續程式邏
                                                                                   輯的撰寫。而無法取得的實際
                                                                   500
                                                                                   運轉數據可根據經驗或者其他
                    100
                                                                   400
                                                                                   相關實驗數據進行假設,並透
                     65                                            350
                                                                                   過第一原理(First Principle)  [註2]
                                                                   300
                        DO NOT USE IN THIS AREA
                     40                                                            來協助推算,當未來取得真實
                     10000    20000     40000  65000  100000  200000   400000
                                           Air flow rate ][m 3 /h]                 運轉數據後再進行修正。
                 圖 7、風車運轉特性曲線                                                      規劃製程及設備模型
                                                                                   特性方程式

                                                                                   製程流程的分析與數學模型的
                                                                                   規劃,包含了模擬範圍的邊界
                 步驟、完成時間及評分條件等等 表2,也都必須在此階段被定義清
                                                                                   條件及各設備的運轉特性方程
                 楚。
                                                                                   式。現實製程中不但有多重變



                                                                               300mm FABS FACILITY JOURNAL     DECEMBER  2016  103
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