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圖 6、無塵室 MAU 空調 P&ID
收集資料與分析
4000 69% 80%
RZR 13-1250 84% 問題及範圍確定後,接下來
Ref. density Rhol = 1.2kg/m 3 80%
Installation = B ETAt for n_max 就需要收集系統設計資料,
2000 Thick red lines = limitation of 70%
the recommended area 60% 以及模擬所需的現場實驗數
50% 據,像是P&ID (Piping and
1000 Pw[kW] nv[1/min] Instrumentation Diagram) 圖
33%
Total pressure [pa] 650 1000 6、設備或元件運轉曲線 圖
1145
7 、PF D (Pr ocess F low
400
800
Diagram)、空氣線圖等等,以
600
200 700 協助模型的設計及後續程式邏
輯的撰寫。而無法取得的實際
500
運轉數據可根據經驗或者其他
100
400
相關實驗數據進行假設,並透
65 350
過第一原理(First Principle) [註2]
300
DO NOT USE IN THIS AREA
40 來協助推算,當未來取得真實
10000 20000 40000 65000 100000 200000 400000
Air flow rate ][m 3 /h] 運轉數據後再進行修正。
圖 7、風車運轉特性曲線 規劃製程及設備模型
特性方程式
製程流程的分析與數學模型的
規劃,包含了模擬範圍的邊界
步驟、完成時間及評分條件等等 表2,也都必須在此階段被定義清
條件及各設備的運轉特性方程
楚。
式。現實製程中不但有多重變
300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2016 103