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The Development and

Application of

Hookup

Hierarchy

System

裝機工程階層式系統的發展與應用

新機台裝機時，需依據製程生產機台的需求進行各種廠務供應系統二次配管的設置，為符合母廠的相同標
準，管路配置被要求與標準機台進行比對符合相同的標準；本篇在此將闡述藉由階梯式的表格建立明確地
將管路配置的上下游階層關係，應用於製程標準差異比對系統以提供更清楚的差異報表，藉此設備工程師
可清楚廠務系統階層關係。此外，運用此系統發展出 Hookup 各工種標準 XYZ 請款點數表，並可提供一致
性的點數計價標準，消弭人為判斷的差異，降低稽核缺失的風險，有效改善工程師驗收的困擾。

關鍵詞/ 裝機工程、階層式、請款、製程標準差異比對系統、標準機台
Keywords/ Hookup, Hierarchy, Payment, PRS, Golden Tool

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文│朱慧明 林永斌 │ 廠務升級專案 新廠設計部│
前言 屬的 Hookup 系統為使用端，稱為二次側，兩者間
互為上下游關係，彼此利用聯結介面串聯起來，我
們稱此一介面為 Take off port。一次側設計時，
在高科技廠房的生命週期中，歷經規劃、設計、營
必須以二次側 Take off port 需求為考量，滿足其
建到進入運轉階段後，必需逐一完成生產機台安
裝，將廠務系統所預置的管路端點銜接至機台，準 數量與容量，才能將 Utility 供應至每個生產機台。
備進行生產，這個階段稱為「二次配管裝機階段」 隨著製程進入高階世代，為縮短研發到量產的
(Hookup)。
時 程 (Time To Volume，TTV) ， 以 提 昇 公 司 的
廠房之供應系統或回收處理系統為 水、電、氣、 競爭力，母廠 (Mother Fab) 及新建量產廠會同
化學品等 Utility 源頭，稱為一次側，而生產機台所 時進行，為達到使用相同的標準，除設備參數

從六吋至八吋到十二吋晶圓廠，每個過程都 榮獲台積公司級傑出改善工程師金質獎、通過九
明 慧 是成長的動力，從設備至 hookup 到廠務系 永 斌 個國家級專利、參與八座十二吋晶圓廠 Hookup
統運轉，不同領域的吸收及不斷的學習，工 林 Michael Lin 設計 / 規劃 / 執行，懷著感恩的心一路走來。
作的經驗談 :『工欲善其事，必先利其器』。 從心開始，一開始就做好，每天都要進步一點。
朱 H. M. Chu

300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2016 69