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Vision
新象新知
談動態製程模擬技術
在半導體廠廠務運轉的應用
The Application of Dynamic Process Simulation
to Semiconductor Facility Operation
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文│蔡昀叡 鄭昭平 吳劉駒 │ 300mm Fabs廠務處 新廠規畫部 MYNAH Technologies, LLC│
本文介紹模擬技術的發展及應用現況，並說明如何透過動態製程模擬技術結合控制系統，來模擬半
導體廠設備運轉特性及外在環境變化，建構仿真工廠以提供一個擬真的實戰訓練環境，協助廠務運
轉人員快速累積知識與經驗，在面對異常事件或緊急狀況時，能即時做出正確的處置，並期望在未
來可以更進一步做為製程虛擬試俥及創新研發的實驗平台。
關鍵詞/ 模擬/仿真、控制系統、廠務系統
Keywords/ Simulation, Control System, Facility System
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