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開發 訓練
工程師
問題
劇本
日常操作練習 緊急應變考核
範圍
開發劇本 & DCS/PLC + Database Simulator
評分模組
初始狀態 時限
異常條件 步驟
劇本模組 評分模組
收集 & 分析 建立 IO 模型 速度調整 得分
還原快照 扣分

教學與執行劇本
規劃製程 & 建立製程模型
設備模型特性方程式 指導者

圖 3、模擬系統開發流程

曲線的數學函式，確認各段
製程變因以及邊界條件的假
控制溫度的主要元件 控制濕度和壓力的主要元件 設。
▂ 建立製程模型：透過模擬軟
Dry Cooling Coil Mech. Chase MAU 體進行設備與製程的模型建
乾盤管 回風混合區 外氣空調箱
立。
外氣 ▂ 建立IO模型：連接製程模型
FFU 與控制系統的訊號，進行資
循環風扇+ FAB AAS
超潔淨過濾網 製程生產品 排氣系統 料的交換。
▂ 開發劇本及評分模組：客製
室內循環(Re-circulation) 外氣交換
化建立所需的劇本及評分模
組，包含講師與受訓學員的
控制潔淨度的主要元件 深綠色部分為本文模擬範圍
人機介面。
▂
圖 4、無塵室空調架構圖 整合測試與結果分析：與系
統實際數據比對，反覆測試
與調整，提高擬真度。

發生前後的變化。換言之，就是能讓模擬的狀態隨著時間改變，達
[1]
到即時反應的效果 。
實際案例應用─
無塵室空調及排煙系統

如何建構動態製程模擬系統
維 持一座半導體廠房的正
常運作是需要由多個的
要 建立一個符合需求的動態製程模擬系統，必須經歷以下七個 廠務系統共同相互配合 [4] 。雖
步驟，包含定義範圍、收集資料與分析、規劃製程及設備模
然全域模擬可以提供最完整的
型特性方程式、建立製程模型、建立IO模型、開發劇本及評分模 訓練環境，但考量成本效益，
組，和最後的整合測試與結果分析 圖3。 我們優先從重要的廠務系統開
始著手，像是廢氣處理系統(Air
▂ 定義範圍：定義包含邊界條件、功能、所需要模擬的狀況，以
Abatement System)、製程冷卻
及訓練用的劇本。 水系統(Process Cooling Water
▂ 收集資料與分析：此步驟需收集製程設備與模擬功能相關的設 System)、氣體氣瓶櫃供應系統
(Gas Cabinet Supply System)
計資料，以及系統實際運轉數據做為參考。
以及無塵室空調與緊急排煙系
▂ 規劃製程及設備模型特性方程式：歸納出元件特性及設備運轉

300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2016 101