Page 102 - Vol.24

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新象新知

ATM ATM No. Component Variables

J F
8
1 OA 2 MAU supply Open%
PDT damper adjustable
J
F
4 MAU return Open/close
8 Damper (wall)
MAU MAU MAU MAU C Dry cooling coil Open%
6 GAS2206SD 203 205 206 208
adjustable
TO 1F DIFF.
D Fan filter unit Running%
D2 D1 (FFU) adjustable
3
7 Fire damper Open/close
4
F CEX fan On/off
C TCV
2 1 Calamity bypass Open%
6 FFU 7 FFU 7 FFU D 7 FFU FFU 7 damper adjustable
3 MAU release Open/close
(bypass) damper
6 GAS damper Open/close
For re treatment For re treatment
J CEX in Damper Open/close
8 Up-Stream Open/close
damper
D1/2 LIT/DIFF ISO Open/close
damper

圖 5、黃光區無塵室內相關聯動設備及風門

統(Cleanroom HVAC and Fire
Desmoke System)等等。而無 劇本名稱 溫度傳送器故障
塵室是半導體晶圓生產最重要
的地方，其溫度、濕度或壓力
初始狀態 黃光區MAU (203/206/208/205 backup)
若不穩定就會對整個產線造成 狀態：MAU203/206開啟；MAU208關閉，並將MAU206設定在CAS Mode
所有變頻器( 4 SETS )轉速設定在Manu Mode
極大的影響。本文選擇無塵室 無塵室壓力(P7F3LIT201PDI01)在Manu Mode, CR pressure = 40 Pa
空調 圖4及排煙系統來說明開 MAU P7F4MAU206TIC03 SPC控點勾選 P7F3LIT201TIC04；改選2號溫度傳送器
發流程。 狀況 P7F4MAU206TIC03溫度傳送器故障，需選用其他偵測器

處理需求 回復時間780秒內
定義範圍
處理程序 1. 確認MAU206 TIC03已切換至MANU mode；MAU206警報全數隔離
因無塵室各區系統的操作方式 ( Score : 10%, Time : 90 secs )
1.1 觀察TIC03歷史趨勢圖（克數與閥開度）
及內部環境大多相同，考量 1.2 確認閥開度已維持故障前的數值
開發效益，我們選擇模擬製 2. 切換目前使用的溫度傳送器（從2號改成1號）手動調整TIC03 OP%…
( Score : 20%, Time : 600 secs )
程中最重要的黃光區 圖5，包 2.1 手動調整TIC03控制閥開度
2.2 監測控點溫濕度(P7F3LIT201TIC04/MI04)
含了4台外氣空調箱(Make-up 2.3 針對No.1 TIC03依據現場溫溼度調整SP值
Air Unit, MAU)、60個風門、 2.4 調整完成後將TIC03切回Auto mode
3. 待現場溫溼度回至基準後，將MAU206切回CAS ( Score : 20%, Time : 90 secs )
31個偵測器（包含溫度、濕 3.1 確認CR溫溼度(P7F3LIT201TIC04\P7F3LIT201MI04)回至基準
3.2 確認新調整後的SP不會觸發P7F4MAU206TIC03上下限警報，
度、以及壓差）、6個控制溫
若超出警報範圍需修改上下限
度調節的乾盤管(Dry Cooling 3.3 將MAU206警報隔離全數解開
Coil, DCC)以及無塵室的空 評分規則 ＊劇本執行時最低要求限制( Critical Score )
間。其他假設與邊界條件，包 1. 如果以下任一項目發生，扣除30%的分數
P7F3LIT201MI04 PV out of +- 1.7% of SP
括了像是外氣壓力的大小、 P7F3LIT201TIC04 PV out of +- 0.5°C of SP
2. 如果以下任一項目發生，扣除20%的分數
系統初始狀態和空氣為理想 P7F4MAU206TIC03觸發上下限警報(+- 0.5g/kg)
氣體等等，此外，訓練考核
的內容，如突發狀況、應變 表 2、劇本範例－ MAU 溫度傳送器故障

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