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表 4、零排各單元操作成本參考

元/M3 MBR+RO EDR EVP Dryer Remark

操作成本(不含設備攤提) 10 30~40 100 2,000 依業界目前水質為依據。會因水質不同而有不同
的操作成本

圖 7、EVP 工作示意圖

回收/處理廠
導入前

台積公司 運輸30%硫酸銨(液體)
硫酸銨儲存槽

廠商處理完後
一年運輸30%硫酸銨78,000噸
將54,600噸的水
(含54,600噸的水)
排放/汽化

回收/處理廠
導入後

台積公司 機械蒸氣再壓縮系統 運輸95%硫酸銨(固體)
(MVR)
硫酸銨儲存槽

一年運輸95%硫酸銨 廠商處理完後
24,960噸 (含1,248噸的水) 將1,248噸的水
廠內回收53,040噸回收水 排放/汽化

質特性而有所變動。 廢水處理設施並自設放流口排放 )， 未來機會點
而是直排至霄裡溪之上游。而這條
以成本分析來看，零排後段的處理
河川下游更是新竹縣自來水之取水
都以消耗電能來取得濃縮，以 EVP
口，人民喝了超過十年的光電廢水
及 Dryer 來看，處理能耗約為一次 MVR 應用於廢棄物減量
進行了無數次的抗爭且引發桃園、
濃縮的 10 倍 ~200 倍以上，雖然 MVR 應用於 30% 硫酸銨的結晶乾
新竹兩縣爭議。在眾多的壓力下才
減少了對水資源環境的衝擊，但卻 燥，大幅降低廢棄物產出量及節省
開始進行廢水零排放的建設。
額外增加其他的能耗及污染。 外運成本。
綜合以上成本、效益及環境污染的
30% 硫酸銨導入 MVR 後提濃至
角度看來，目前若非特殊的要求或
國內廠商零排的原由 45% 的硫酸銨，再藉由離心機脫
任務，廢水處理做到回收率 >85%
水，脫水後之液體再次循環至系統
此次探討之友廠位於桃園的渴望園 ( 廢水部分回收 ) 為最佳的控制。
再次濃縮，脫水後的固體結晶則進
區內，公司以生產面板為主，生產 而零排放的技術可用於的部分廢水
一步乾燥，產出 99% 固態硫酸銨。
過程中產出的廢水經處理後並非納 處理系統，既可達到減廢又可以達
如 圖7 所示。
入園區廢水廠處理 ( 園區內僅收生 到回收水，以下則以零排的技術來
活污水，其餘工業廢水需自行增設 尋求未來機會點。 依據中科廠務二部張朝鈞於廠務

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 41