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優？在節水、能耗、成本、環境衝
擊等方面不同角度會有不同結果。
以成本分析來看，零排後段的處理
都以消耗電能來取得濃縮，以 EVP
及 Dryer 來看，處理能耗約為一次
濃縮的 10 倍 ~200 倍以上，雖然
減少了對水資源環境的衝擊，但卻
額外增加其他的能耗及污染。若非
特殊的要求或任務，廢水處理做到
回收率 >85% ( 廢水部分回收 ) 為
最佳的控制。
而零排放的技術可用於本公司部分
處理系統，其中應用 MVR 技術於
30% 液態硫酸銨之結晶乾燥，將
99% 固態硫酸銨轉成產品出售，
每年可減少 74,352 噸廢棄物量，
以及每年增加水回收 53,040 噸。
同時若應用於中科廠區 HFDR ROR
處理，可每天增加 567 噸廢水回收
及每月減少化學品 (NaOH、CaCl2)
的使用費 179 萬，達到節水減廢的
雙重效益。
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300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 43
