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Tech
             Notes
             技術專文



               Drum’s Hyper



               Logistic (DHL)



               System for


               Chemical






               Drum













               桶裝化學品


               高效供酸新架構






               因應未來人力成本高漲以及人力資源取得不易的問題，如何設計一
               套兼顧效率與供應品質並有效降低因人工操作必須面對的失誤風
               險，已然成為半導體廠務的重要課題。本計畫設計了一套為桶裝化
               學品量身打造的高效率輸送及供應系統，藉由高自動化的系統架
               構，實現桶裝化學品供應系統的架構變更 ，有效降低系統設備的體
               積，達到空間使用率的大幅提升，變更後的空間節省幅度可達 20%
               之高，即使面對未來的新世代製程更加多樣化的化學品供應種類也
               能有效容納，並大幅改善化學房 (chemical room) 空間不足的問題。                         桶裝化學品輸送與供應系統概念圖   影像處理 / 洪湘寧

               關鍵詞／效率、品質、高效率供應系統、桶裝化學品供應單元、化學品供應單元、桶裝化學品
               Keywords/ Effectiveness, Quality, Drum’s Hyper Logistic (DHL) System, Drum unit,
               Chemical Dispense Unit (CDU), DrumDrain, Chemical Consuming Defense System
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               文│張育正  黃介然  劉俊男 │ 新廠設計部  中科廠務五部│
               前言
               半導體製程中所使用到的化學品原料相當多，依使用量的多寡，在廠務端源頭的供應方式可大致分為
               槽車 (Lorry) 及桶裝化學品 (Drum) 兩種。前者僅用於少數用量較大的大宗化學品 (Bulk Chemical)，其
               餘大部分用量較小的化學品則以後者為主要的供應方式。
               Drum 在源頭的更換流程大致如下，供應商將物料運進工廠後，由庫房人員將 Drum 搬運到位於廠房
               內高風險生產物料區 (Hazardous Production Material, HPM) 一樓的流動棚，再由廠務端的化學品操
               作人員 (Total Chemical Manager, TCM)，利用夾酸車及拖板車將 Drum 經電梯載運到 HPM 二樓的化


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