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Notes
技術專文

裝 載 Drum 的 空 間 之 外，CDU 系
圖 1、換酸作業流程比較示意圖
統還包含了用來濾除化學品內金屬
不純物的過濾系統、供應時緩衝用
Floor
的日桶槽 (Day tank)、以及最後輸
(HPM L20)
送化學品供機台使用的壓力桶槽 Supply to tool
(Pressure Tank) 或壓力罐 (Pressure 人力輸送 人力上酸
Vessel)。 上 述 這 些 單 元， 使 得
Drum 與 CDU 結合型的機台體積相
當龐大，這也讓目前新廠規劃設計 Drum Unit Day Tank Supply Unit
人員，進行空間設計規畫時相當困
Floor
擾。除此之外，Drum 的空間利用
(HPM L10) 人力輸送至2樓
率問題也困擾著運轉單位。由於從
庫房領出 Drum 後再拖運至 HPM
二樓的化學房內進行更換將耗掉相
當多的時間，在避免運轉中斷的考
量下，廠務端均會從庫房端一次性
領較多的 Drum 放置於 HPM 二樓
的空間，讓運轉上保有安全庫存
Floor
量。視化學品用量的多寡，安全庫
存量少則 4 桶，多則可高達 20 桶。 Floor
(HPM L20) Supply to tool
這也讓原本空間利用率已相當吃緊
的 HPM 二樓，情況更是雪上加霜。
為了解決現行因 Drum 供應方式所
存在著運轉人力以及空間利用率的
Day Tank Supply Unit
兩大問題，本計畫為了 Drum 供應
化學品設計了一套高效率輸送及 Floor
貯 存 系 統 (Drum's Hyper Logistic (HPM L10)
System, DHL System)。 該 套 系 統 Full Drum In Empty Drum Out
目前仍在設計階段，尚未有實體機
台實際運作，故本文僅針對該套系 Drum Unit
統的運作模式進行介紹。

系統介紹 Drum Unit
Floor

DHL System 主系統簡介
圖1 為廠務換酸作業流程比較圖。
由圖可知，DHL System 將傳統的
Drum 送出 DU，並存放於空桶暫 Drum 單元 (Drum Unit, DU)
CDU 分拆為兩個主要單元，分別
存區，待 TCM 協助交由供應商進
為 Drum 單 元 (Drum Unit, DU) 及 和傳統的 CDU 相比，DU 於硬體上
行回收。為了能更進一步地提升廠
供 應 單 元 (Supply Unit, SU)。DU 做了相當大的改變， 圖3 為DU主
房空間利用率，本計畫也比照原本
設置於 HPM 一樓，並和原有的流 要的元件示意圖，以下將針對其做
的流動棚，將此 DU 供應線設計為
動棚結合。流動棚的物料輸送方式 進一步介紹。首先，DU 增設了無
雙層式，讓可供應的化學品數量加
也由原本的滾輪改為自動式輸送 線射頻識別系統 (Radio Frequency
帶 圖2。當 Drum 用空需更換時， 倍。DU 內的化學品會再經由幫浦 Identification, RFID)， 對 經 由 自 動
DU 會透過內部的可程式邏輯控制 輸送至位於 HPM 二樓化學品房內 輸送帶運進 DU 的 Drum 桶進行自
器 (Programmable Logic Controller, 的 Day tank 暫存，最後再由 SU 將 動掃描，確認化學品是否正確，避
PLC) 下指令給輸送帶，將實桶的 化學品供應給無塵室內的生產機台 免庫房人員將 Drum 桶誤置於不對
Drum 送進 DU，同時將用畢的空桶 做使用。 的輸送線上，造成上錯酸的情況發

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