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學品供應房，最後再手動將 Drum 力更換作業流程目前仍存在著許多 生產用的化學品種類及數量逐漸增
桶拖運至化學品供應單元 (Chemical 潛在的風險。此外，TCM 在最後 加，Drum 供應系統在廠房內的空
Dispense Unit, CDU) 機 台 內 進 行 間擺設規劃也是一大問題。如何在
CDU 機台換 Drum 的階段，為了避
更換。然此一更換流程除將耗用掉 有限的廠務設備使用空間中，滿足
免吸入管路卸除時揮發出來的化學
了大量廠務端 TCM 的人力，且整 生產線上大量且種類繁多的化學品
品，更須身著全套的安全防護衣，
板物料重量將近 1 噸不易控制，偶 需求，成了目前新廠規劃設計人員
十分不便。
有不慎即會讓 Drum 桶翻倒，造成 們的一大挑戰。目前的 Drum 裝載
環境破壞甚至人員壓傷，讓此一人 隨著半導體 N10 世代製程之後， 於 CDU 系統內進行供應。而除了

在工作中尋求創新，在生活中追求 愛山、玩相機、也愛宅在 進入台積從一開始
育 正 不凡，感謝各方指導，持續創新為 介 然 家 裡 玩 3C， 通 稱 為「 果 俊 男 的新工處設計部，
工作注入源源不絕的動力。 黃 Andy Huang 粉」族。座右銘為「行於 劉 Chun-Nan Liu 接著中科十五廠五
興趣：打籃球、看電影、聽音樂。 所當行，止於不可不止」。 期的建廠及運轉。
張 Y.C Chang

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 7