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Tech
Notes
技術專文
圖 5、傳統 CDU 循環路徑（簡化）
Day tank循環
Drum循環 Day tank
F
Drum Drum P
圖 6、DHL SYSTEM 循環路徑（簡化）
Day tank循環
Day tank
Drum循環
F
F
Drum Drum P
Drum Drum P
L10 L20
To Day tank
獨立循環路徑
Drum unit Dispense unit
台使用之外，還要肩負將化學品 桶的過濾循環程序則會因此中斷。 看，進行循環過濾的 Drum 桶，其
由 Drum 桶 補 液 至 Day Tank 以 及 為了改善此問題，DU 圖6 也新增 過濾時間常會受到另一顆供應側
Drum 桶內化學品預先過濾循環共 了獨立式過濾循環系統的設計，讓 Drum 桶的供應時間所影響，使得
三項任務。內部的濾材也是一人 Drum 桶的過濾循環流程不受線上 預先循環過濾的時間無法拉長。
分飾兩角，除了要過濾由 Drum 桶 供應的狀況影響，達到化學品供應 DU 系統中也針對了此一問題作了
輸送至 Day Tank 的化學品之外，
品質再強化的目標。 改善，將每次進入 DU 的 Drum 桶
也要負責備用端 Drum 桶的過濾循 數由 2 顆增加為 4 顆，降低循環過
環。在供應不中斷的前提之下，當 過濾循環除了程序不中斷之外，其
系統大量要酸，或是其中一顆幫浦 過濾時間也是相當重要的一環。傳 濾受到線上供應干擾的情況，使過
故障的情況發生時，上述的化學品 統 CDU 一次僅可放兩個 Drum 桶， 濾時間得以拉長。
輸送路徑往往是以供應優先，Drum 以目前雙 Drum 桶的 CDU 系統來
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