Page 9 - Vol.27

圖 2、自動式輸送帶示意照片 圖 3、Drum Unit 主要元件示意圖

準備入料 自動門開啟

手套箱式操作

懸掛式HMI RFID物料判別/定位

自動輸送入料 自動門關閉

獨立循環Filter
獨立循環Pump

系統除錯或維護的工作效率。
圖 4、手套箱操作示意照片（測試時為非實桶操作故人員未著防護器具）
在 DHL System 系 統 中， 雖 然
Drum 桶於已可經由自動輸送帶送
進 DU，但將化學輸送管路於 Drum
桶上的拆裝作業還是需仰賴人力操
作。對於傳統的 CDU，人員若要
對 Drum 桶的化學管路進行拆裝作
業，均需身著全套的安全防護衣，
以避免人員接觸到 Drum 桶內所揮
發出來的有害性化學蒸氣。為了更
進一步降低 TGM 的人力成本，並
縮 短 更 換 Drum 的 作 業 時 間，DU
也加入了手套箱的設計 圖4。此一
設計因已經將 DU 內的空間和外界
作隔離，因此可讓 TGM 人員在無
需穿戴防護衣的情況下，透過手套
對 DU 內的 Drum 桶進行管路更換
生。此設計不僅為化學品入料增設 (Human Machine Interface, HMI) 作業。
了一道自動防線，也取代了傳統人 改為懸掛式，讓操作者可不僅限於
工 刷 Drum 桶 上 條 碼 (Barcode) 來 同個位置操作系統。此一設計大大
獨立式 Drum 桶循環過濾系統
確認化學品是否正確的動作。在 增加了操作便利性，讓系統維護人
操作便利性上的考量之下，DU 也 員可一邊操作 HMI 一邊觀測內部自 傳 統 CDU 系 統 圖5 內 的 幫 浦，
將傳統固定於機台上的人機介面 動閥件或幫浦的作動，增加人員對 除了要負責供應化學品給線上機

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 9