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技術專文
表 5、電容器與廠區無效功率分析表 ( 損失計算參照表一 )
條件 使用情況(參照表二~表四) 無效功率調整後QL 調整後功率因數
(kVAR) PF(%)
功因改善電容器 VFD濾波電容 註1 UPS濾波電容 註2
1 切離 投入 投入 19,508 97.9 lag
2 切離 切離 投入 28,980 95.7 lag
3 切離 投入 切離 30,156 95.3 lag
4 切離 切離 切離 39,628 92.3 lag
表 6、無效功率補償需求分析表
系統 無效功率(kVAR)/台 台數 無效功率(kVAR)
Chiller 370 15 5,550
CDA 450 8 3,600
Tools 9.5 1170 11,115
4.16kV XTR 100 6 600
Facility - - 6,400
合計 27,265
備註：1. Facility 無效功率量化困難，故為概估值
2. Chiller、CDA、Tools 無效功率為平均值，台數可依實際規劃量進行調整
3. 由於低壓0.48kV的變壓器下游安裝多台UPS，虛功量測值已為領先值，故僅提供中壓4.16kV數據
4. 無效功率之合計量（27,265kVAR）與實際值（SCADA數據29,290kVAR）相差約7%
UPS/VFD 補償量 )，閒置電容器組 先進製程設備電力負載特性也 期間，冰機負載上升，中壓變壓器
發生的可能性可大為下降。 在改變，但就以現況看來，綜合 (4.16kV) 負載有可能會超過 90%
機台端所產生的無效功率僅落 時，可能導致功率因數短暫不足補
在 11,000kVAR 左 右 ( 平 均 功 因 助上限 95% 的情況發生，因此必
97%)，目前低壓電容組可提供容 須適度投入中壓電容器，補償系統
量達 24,960kVAR，為設備需求的 虛功無效功率及變壓器備載容量的
結論 2 倍之多，已高過設備端的無效虛 提升 [註5] ，因此中壓的功因改善電
功需求量，可允以適當減量。但必 容是有保留的必要性。
須特別注意的是，對於 EPI、DIF、
而高壓功因改善電容在先進製程廠
新進製程廠房規劃使用大量的特定 Etch 這類機台進行供電規劃時，
區，因機台用電特性改變及不斷電
型號 UPS(9395) [註4] 及 VFD，這些 必需特別注意電源分散，避免低功 系統 / 變頻器提供虛功補償下，不
設備隨著設備元件改善使用了越來 率因數造成過度集中而導致線路壓 投入狀況全廠功因仍可大於 95%。
越多的濾波電容元件，早期電力系 降。 既有廠區閒置電容設備可轉至其他
統規劃並未將此因素納入考量，因 因實際運轉狀況全廠功率因數在 廠區使用；低壓電容需視下游負載
此在新建廠房滿載運轉後就容易遇 不投入電容器的情況下，雖然功 而定，以上分析的結果，可將廠務
到電容器組閒置的情況發生。 率因數仍可達標，但在夏季尖峰 端供電變電站功因改善電容器取消
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