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Tech
Notes
技術專文
GIS Reliability
Enhancement
For New Fab Design
新世代廠房之
氣體絕緣開關設備設計架構
台灣電力公司環路供電是目前科學園區內穩定度較高的電力系統,但 2017 年初,台南配電所供電中斷事故
的發生,讓我們對雙匯流排架構的穩定度及可靠度產生質疑。隨著半導體廠高階製程快速演進,擁有穩定且
不中斷的電力系統是不可或缺的,如何在各種供電型式中擇其優,設計高可靠度的電力系統,是我們必須思
考的重要議題。根據 IEEE 規範,我們未來在氣體絕緣開關將採用兩套單匯流排來取代雙匯流排供電,此架構
不僅可提升廠內供電可靠度,同時也可預防事故的發生,本文將對其特性及優缺點做詳細的說明。
關鍵詞/氣體絕緣開關設備、雙匯流排供電、兩套單匯流排、配電所、隔離開關、接地開關
Keywords/ Gas Insulated Switchgear(GIS), Double Busbar, Dual Single Busbar, Distribution Substation,
Disconnecting Switch, Earthing Switch
文 | 蘇昭庭 | 新廠設計部│
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