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RIN 2060–AN80, National Emission
圖6、95%及98%排放量推估 Standards for Hazardous Air Pollutants
for Semiconductor Manufacturing
[8] 周亞璇、甯蜀光、袁中新、洪崇軒、李
300% 家偉、工業區有害空氣污染物管制標準
訂定之初探
[9] Removal of V olatile Organic
247% 247% 247% 247% 247%
250% Compounds from polluted air, Faisal I.
226% Khan ,Aloke Kr. Ghoshal
205% [10] 張豐堂、沈克鵬、粘愷峻、陳見財、林
200% 184% 華宇、陳良棟、光電業沸石轉輪焚化系
163% 159% 159% 159% 159% 159% 統效率提升實廠改善案理
150% 142% 134% 142% 150% [11] Adsorption and Desorption Chara-
125% cteristics of Semiconductor Volatile
117% Organic Compounds on the
100% 125% 130% 137% 134% 132%
100% 113% 119% 118% Thermal Swing Honeycomb Zeolite
102% 99% Concentrator, Feng-Tang Chang, Yu-
Chih Lin, Hsunling Bai, Bau-Shei Pei
增量比例―新舊廠維持95%
50% 增量比例―新廠98%，舊廠95% [12] Optimized design and operating
增量比例―新廠98%，舊廠98% parameters for minimizing emissions
during VOC thermal oxidation,
0% by Edward Donley and David
2018 2019 2020 2021 2022 2023 2024 2025 2026 2027 2028 Lewandowski, Process Combustion
Cotp., Pittsburgh
[13] Removal of Volatile Organic Com-
pounds from polluted air, Faisal I. Khan,
Aloke Kr. Ghoshal
[14] 科技產業含異丙醇廢水經氧化轉換為丙
法規之最低要求，但是若放眼全 率是與現有系統相當的。 酮之研究，楊光安、張佩琳、金光祖
[15] Powell RM PR, Blowes DW, Vogan
球，我們仍然有進步的空間。
隨著公司產能逐年擴充，空氣汙染 JL, Gillham RW, Powell PD, Schultz
雙沸石轉輪搭配高溫焚化爐是目前 物的排放量亦隨之增加，以現行 D, Landis R, Sivavec TM: Permeable
reactive barrier technologies for
全世界已商轉進行VOCs廢氣處理 十二吋廠區2017年度VOCs年排放 contaminant remediation. US EPA
的最先進技術，無論可行性、妥善 量為基準 進行推估，隨新廠(F15/ 1998.
率、效率、能耗、佔地面積均已達 F18)逐年投產，全廠區VOCs年排
到一個最佳的平衡點。以下面幾點 放量於2024年將增量至247%。
進行分析。 附註
若以採用雙沸石轉輪處理設備增加
3%處理效率進行推估，先進製程 註1 揮發性有機物質( volatile organic
效率 compounds, VOCs)一般指在標準狀
廠區VOCs年排放量於2024年僅增 態下(20℃與760mmHg)其蒸氣壓大於
高處理效率是雙轉輪系統主要的
量至159%，相較95%處理效率， 0.1mmHg以上之有機化合物。
訴求。在低濃度(~100ppm)時進行 註2 主要用途為和PGMEA調和後作為光阻
減量幅度達88%。若既有廠區也
PFD推算，仍可達到98%的處理效 稀釋液及清洗液，也可單獨使用於光
逐年進行汰換 ，當全數更換完成 阻管路清洗。
率。 註3 光阻助溶劑用途。
後，推估2028年VOCs年排放量將
註4 Powell RM PR, Blowes DW, Vogan
安全 減量至2018年的排放基準值 圖6 。 JL, Gillham RW, Powell PD, Schultz
由於主要安全理念相同，因此在既 D, Landis R, Sivavec TM: Permeable
reactive barrier technologies for
有單轉輪系統已有完善的安全邏輯 contaminant remediation. US EPA
及interlock的基礎上，進行安全邏 1998.
註5 中空先為吸附材料應用於環境氣體汙
輯評估後，其安全性是與現有系 參考文獻 染防制，王允欣，工業材料361期，
統相當的。此外，我們也要求所有 [1] 翁興中、劉妙生、蘇艾、劉聖幸、高科 2017/01。
供應商其設備應具備SEMI-S2的認 技電子業揮發性有機物污染管制理論與 註6 ENVIRONMENT AL PROTEC -
實務，2004.6 TIONAGENCY, 40 CFR Part 63,
證、燃料控制相關閥件應具備UL等 [2] 國立臺灣大學高瞻計畫 [EPA–HQ–OAR–2002–0086, FRL–
相關認證。 http://highscope.ch.ntu.edu.tw/ 8695–9], RIN 2060–AN80, National
wordpress/?p=4290 Emission Standards for Hazardous
[3] Definition of Volatile Organic Com- Air Pollutants for Semiconductor
能耗 pounds. http://epa.gov/ttn/naaqs/ Manufacturing
目前推算在處理效率提升3%及處 ozone/ozonetech/def_voc.htm 註7 歐盟化學品註冊、評估、授權與限
制法規，簡稱REACH (Registration,
[4] Volatility (che mistry ). http://e n.
理風量提升50%的條件下，其整體 wikipedia.org/wiki/Volatility_(chemistry) Evaluation, Authorization and Res-
天然氣用量與現有系統相當。 [5] Volatile organic compound. http:// triction of Chemicals)
en.wikipedia.org/wiki/Volatile_organic_ 註8 高度關注物質(Substances of Very
compounds High Concern, SVHC)
妥善率
[6] 莊錦烽、葉國棟、李素梅、許健毅、高 註9 於2011年12月19日公佈生效
由於主要設計流程相似單轉輪系 科技VOC管理與控制技術研析，工業污 註10 以2017 Q3 TSM所登載之VOC申報量
染防治第106期 進行推估。
統，因此在既有系統架構之下，進
[7] US EPA 40 CFR Part 63, [EPA–HQ– 註11 樂觀值預估，自2018年每年以一個廠
行系統架構的修正及精進，其妥善 OAR–2002–0086, FRL–8695–9], 區進行更換。

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 15