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Innovative Method

of Optimization

Energy Saving

Control for Positive

and Negative 2°C -

Chilled

Water

System

正負 2℃ – 冰水系統

最佳化控制創新方法

文│莊哲嘉│竹科廠務三部│

前言

在半導體產業廠房中，為維持無塵室內恆溫恆濕需求以及將生產機
竹科十二廠六期冰水系統 攝影 / 洪湘寧
台產生的熱量帶走，所以需相當大的冰水用量，而要製造及供應這
些冰水是來自於冰水系統；冰水系統組成之設備主要包括冰水主
機 (Chiller)、 冰 水 泵 (Chilled Water Pump, CHP)、 冷 卻 水 泵 (Cooling
Water Pump, CWP) 以及冷卻水塔 (Cooling Tower, CT)，總用電量佔
整個廠區約 20%( 如 圖1)，其耗電量相當高，故著重於冰水系統之節
能改善必定會有相當大的成效。

莊
學歷：1996 年國立台北科技大學機械系；2010 年國立台北科技大學所冷凍空調所。
哲 嘉 經歷：1998~2002 年 聯華電子；2002~2006 年 友達光電；2006~2012 年 井昇 / 冰水系統節能設計；2012 年迄今 台積電。
專長：冷凍空調設計、冰水系統節能設計規劃。
證照：1996 年冷凍空調技師高考及格。
C.C. Chuang

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 17