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技術專文

Abstract 在半導體廠房因冰水系統佔廠區用電量約 20%，所以許多同行和專家在冰水系統節能控制方面投入
了相當大的精力，但要使冰水系統中各運轉設備運轉於最佳效率點 ( 最省能 ) 目前在業界一直無法有
效方法突破。本文應用大數據分析及利用各運轉設備之性能曲線以回歸分析方式開發出冰水系統整體
設備最佳能源效率控制方程式，此為業界首創，並同步申請台灣 / 大陸專利保護。此節能控制程式已
推行至 TSMC 12 吋晶圓廠 ( 共 14 座廠 ) 執行，每年可實際節省用電量 1.2 億度 / 年 ( 冰水系統節能
9%，相當於全廠用電量 1.8%)。

關鍵詞／冰機、冷卻水塔、冰水系統節能、最佳化、自動變溫控制
Keywords/ Chiller, Cooling Tower, Energy Saving of Chilled Water System, Optimization,
Automatic Temperature Changing Control

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