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技術專文

表 3、台積電各廠區廢硫酸去除雙氧水系統操作參數一覽表 圖4、不同硫酸濃度溶液對應沸點圖 [4] 表 5、各廠區廢硫酸濃度對應沸點一覽表

廠區 硫酸 廢硫酸 廢硫酸 處理後 HCl加藥 批次 批次 批次 批次 單位廢 批次 最高 工作 Local Scrubber 廠區 硫酸濃度 沸點溫度 溫度Interlock 沸點與interlock
濃度 產生量 處理前 H 2 O 2 硫酸 HCl 加 HCl 總 加藥 硫酸 HCl 反應 反應 溫昇 (%) (°C) 設定(°C) 溫度差(°C)
(%) (ton/ H 2 O 2 濃度 濃度 桶槽 管路 產生量 藥時間 加藥量 斜率 加藥量 時間 溫度 斜率 NaOH 加藥pH
day) (PPM) (PPM) 加藥 加藥 (ton) (minute) (L) (L/min) (L/ton) (hr) (°C) (°C/min) 加藥機制 Hi & Low Alarm
新竹A 60~70 140~170 110 30
新竹A 60~70 18.6 25000~ <10 V 4.65 60 60 1 12.9 10 100 0.5 pH <11.7開始加藥 Y 300
45000 pH >11.9停止加藥
新竹B 60~70 140~170 95 45
新竹B 60~70 9 40000~ <50 V 4.5 150 150 1 33.3 18 85 0.2 pH <10.9開始加藥 Y
50000 pH>11.5停止加藥 新竹C 50~60 125~140 85 40
新竹C 50~60 7 5000~ <30 V 3.5 60 70 1 20.0 12~ 80 0.5 pH <10.5開始加藥 Y
10000 14 pH>11.5停止加藥 新竹D 60~70 140~170 100 40
新竹D 60~70 10 30000~ <10 V 3.5 318 52.5 0.165 15.0 12 85 0.20 pH <8.8開始加藥 Y
32000 pH>9停止加藥 台南A 60~70 140~170 90 50
台南A 60~70 18.8 45,000~ <50 V 3.1 39 50.7 1.3 16.3 9.5 83 0.22 pH <9.5開始加藥 Y 200
22,000 pH>11.5停止加藥 台南B 60~70 140~170 95 45
台南B 60~70 19.6 56,000~ <50 V 5.6 40 52 1.3 9.3 14.1 87 0.2 pH <10.0開始加藥 Y Boiling temperature (°C)
62,000 pH>10.5停止加藥 台南C 50~60 125~140 80 45
台南C 50~60 18 23340~ <50 V 3 12.5 16.2 1.3 3.4 9 70 0.13 pH <8開始加藥 Y 台南D
25120 pH>9停止加藥 50~60 125~140 80 45
台南D 50~60 5.5 30000 <50 V 3.3 7 9.31 1.33 2.8 12 78 0.5 pH <8.8開始加藥 Y 台南E 50~60 125~140 85 45
pH>9停止加藥
台南E 50~60 5.6 48000~ <10 V 4.5 6.3 6.3 1 1.4 12 75 0.5 pH <8.8開始加藥 Y 100 1 bar 台中A-1 55~65 130~155 100 30
52000 pH>9停止加藥
台中A-1 55~65 7~13 20000~ <30 V 4 75 225 2.6 56.2 14 95 0.19~ pH <9.5開始加藥 Y 台中A-2 55~65 130~155 100 30
52000 0.36 pH>12停止加藥
台中A-2 55~65 8 20000~ <30 V 8 150 225 1.7 28.1 24 95 0.19~ pH <9.5開始加藥 Y 0.1 bar 台中B-1 47~50 120~125 110 10
52000 0.36 pH>12停止加藥
台中A-3 47~50 7 50000~ <10 V 4 1 1 1 0.25 24 95 0.06 pH <10.8開始加藥 Y 台中B-2 47~50 120~125 110 10
60000 pH>10.9停止加藥 0.01 bar
台中B-3 47~50 120~125 110 10
台中B-1 47~50 7 50000~ <10 V 4 1 1 1 0.25 24 95 0.06 pH <10.8開始加藥 Y 0
60000 pH>10.9停止加藥 0 50 100 50 100
台中B-2 47~50 9 50000~ <10 V 9 1.5 1.5 1.5 0.17 24 95 0.06 pH <10.8開始加藥 Y 台中C 60~70 140~170 95 45
60000 pH>10.9停止加藥 Sulfuric Acid (%H 2SO 4) Oleum (% fr. SO 3)
台中D 55~65 130~155 90 40
台中C 60~70 32 19000~ <10 V 9 85 85 1 9.4 24 85 0.2 pH <8.8開始加藥 Y
25000 pH>9停止加藥
台中D 55~65 24 15000~ <10 V 12 70 70 1 5.8 24 75 0.15 pH <11.5開始加藥 Y
35000 pH>11.6停止加藥
防護均可有效避免桶槽過壓破裂。
表 6、建議各廠評估改善項目
表 4、台積電各廠區廢硫酸去除雙氧水系統安全防護參數一覽表
廠區 反應槽溫昇防護： 反應槽溫昇防護： 避免HCl加藥過量： Local scrubber皂化反應
設定溫昇斜率 重新評估反應槽 設定加藥過量 防護：pH >11停止加藥 各廠運轉經驗Lesson Learnt
廠區 過溫防護 過壓防護 環境
Alarm 溫度Alarm interlock interlock 或設置消泡裝置
溫度 Sensor數量/ 位置 Sensor Sensor 溫昇斜率 加藥斜率 Sensor 位置 Warning Sensor 是否有 環境是 環境 收集各廠運轉經驗Lesson Learnt
Alarm Interlock Alarm Alarm 壓力值 Interlock 桶槽破 GMS Leak (如 表7所示)，主要有三項共通性改
溫度(°C) (°C/min) (L/min) 機制 裂片 Sensor 新竹A V V
善建議：
新竹A 數量：2 /桶槽內/桶槽外壁 110 110 NA NA 數量：1, 桶頂 <-350 pa <-80pa Y Y Y 新竹B V
– Local Scrubber皂化問題：本文
新竹B 數量：2/ 桶槽內/桶槽外壁 90 95 2.5 NA 數量：1, 桶頂 <-220pa <-200pa Y Y Y
新竹C V 除建議藉由調整pH的加藥機制
新竹C 數量：2 /桶槽內/桶槽外壁 80 85 2 NA 數量：1, 桶頂 >-350 pa >-350 pa Y Y Y
及增加消泡裝置外，新竹A及台
新竹D 數量：2 /桶槽內/桶槽外壁 90 100 0.20 0.163 數量：1, 桶頂 <-200pa <-150pa Y Y Y 新竹D
南A廠建議可增加水槽的換水頻
台南A 數量：2/ 桶槽內 81 90 NA NA 數量：1, 桶頂 <-250pa <-150pa Y Y Y
台南A V V V 率，避免皂化問題的發生。
台南B 數量：2 /桶槽內 90 95 NA NA 數量：1, 桶頂 <-250pa <-150pa Y Y Y
台南C 數量：2 /桶槽內 78 80 2 1.3 數量：1, 桶頂 <-440pa <-250pa Y Y Y 台南B V V – 廢氣exhaust管路酸液累積造成
台南D 數量：2 /桶槽內/桶槽外壁 80 80 1.5 1.5 數量：1, 桶頂 <-300 pa <-180pa Y Y Y 鏽蝕問題：新竹A、台南B及台
台南C V V V
台南E 數量：2 /桶槽內/桶槽外壁 80 85 2.5 1.5 數量：1, 桶頂 <-200pa <-150pa Y Y Y 中A&B廠建議廢氣 exhaust管
台中A-1 數量：2 /桶槽內 95.5 100 0.4 NA 數量：1, 桶頂 <-100 pa <-50pa Y Y Y 台南D V V V 路，應由法蘭銜接變更為全焊管
台中A-2 數量：2 /桶槽內 95.5 100 0.4 NA 數量：1, 桶頂 <-100 pa <-50pa Y Y Y 台中A V V V 路，配管時應妥善規劃exhaust
台中B-1 數量：2 /桶槽內/桶槽外壁 95 110 0.08 1 數量：1, 桶頂 <-300 pa <-100 pa Y Y Y 斜率，避免彎管轉折處或低點酸
台中B V
台中B-2 數量：2 /桶槽內/桶槽外壁 95 110 0.08 1 數量：1, 桶頂 <-300 pa <-100 pa Y Y Y 液累積，造成exhaust鏽蝕導致
台中B-3 數量：2 /桶槽內/桶槽外壁 95 110 0.08 1 數量：1, 桶頂 <-300 pa <-100 pa Y Y Y 台中C V V 廢液、氯氣洩漏。
台中C 數量：2 /桶槽內/桶槽外壁 85 95 NA NA 數量：1, 桶頂 <-300pa <-150pa Y Y Y
台中D V V – 破裂片連接exhaust管，管內酸
台中D 數量：2 /桶槽內/桶槽外壁 80 90 2.5 NA 數量：1, 桶頂 <-200pa <-100pa Y Y Y
氣造成破裂片腐蝕：新竹A廠建

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