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Tech
Notes
技術專文
Safety
Management for
EUV
Tool
超紫外光機台
全方位安全管理
前言
超紫外光(EUV(Extreme Ultraviolet, EUV)對於台積公司在先進製
程競賽中保持領先扮演著極為重要的角色，受損後的復原與產
能取代亦較其他製程機台來的困難，如何避免因機台運轉異常
造成廠區、人員的危害或因外部環境而受損都是相當重要的課
題。
雖然依據機台SEMI-S2(半導體製造設備環境衛生安全基準)
報告指出設備本身主要危害可藉由機台安全連鎖裝置(Safety
Interlock)等措施進行防護與控制，但為更加降低EUV運轉時之
風險，除機台本身之安全機制外亦須藉由執行危害辨識及風險
竹科十二廠四期無塵室固定式起重機設置 攝影 / 曾威霖 評估程序了解所有潛在風險後採取對應之管控措施。
EUV運轉過程使用大量具易燃特性的氫氣作為導熱清潔用途及
超紫外光 (EUV) 為半導體製程持續微縮並延續摩爾定律 (Moore's law) 的新世代微影技術，亦是台
Abstract 積公司能持續保持先進製程技術領先的關鍵設備，EUV 造價昂貴且使用大量具極度易燃特性的氫氣 大量冷卻水作為機台降溫使用，一旦大量洩漏可能造成設備嚴
重損害，因此在風險鑑別結果火災爆炸及機台水損均具有中度
(Hydrogen)，因此需有嚴格的管控措施以防止事件發生，造成公司資產損失與人員安全危害。然而對於
風險。
EUV 的安全管控並無前例可循，而是由相關單位依危害特性持續討論後訂定最適措施。本文首先針對
EUV 機台進行危害辨識及風險評估並依評估結果擬定相對應之風險控制措施，經執行各控制措施後相關
危害均已降至低度風險，有效降低 EUV 設置對廠區之安全衝擊。
加入台積電擔任安全工程師約五年時間，隨著晶圓製程不斷創新
關鍵詞／超紫外光、氫氣、固定式起重機 威 霖 曾 W.L. Tseng 國立台灣大學環工所畢業。
Keywords/ Etreme Ultra-Violet (EUV), Hydrogen, Crane 精進，所對應安全風險管控也必須不斷強化以迎接全新的挑戰。
興趣：旅行、看電影、聽音樂。
文│曾威霖│十二廠工安環保一部│
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