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技術專文

圖2、天花板灑水頭（隱藏式）設置圖 圖3、製程冷卻水管路隔音棉與消音箱安裝

向上型撒水頭及管路

SAMPLING HOLE SAMPLING PIPE
FAB CEILING

C/R

向下型撒水頭及管路

為提供氫氣洩漏時第二層安全防 管理，EUV區域新增撒水系統獨立 於水損之應變能力。
危險性機械(固定式起重機)作業管 可能暴露在磁場危害人員作業前均 結果與分析
護，要求內含氫氣管路的氣體閥箱 ACV，並針對獨立ACV增設Y型過
理 施予教育訓練並於機台端張貼中、
接頭不可外露並且配置Exhaust抽 濾器，降低水損意外發生時水中雜
氣(不可使用鋁箔軟管)及裝設氣體 質汙染機台的機率。 強震損害風險控制措施 無塵室固定式起重機單座吊升荷重 英文危害警告標示。
偵測器進行監控。為避免強震發生 為10公噸，屬法定之危險性機械， 綜上所述，針對EUV各主要風險來
後管路鬆脫造成氫氣洩漏風險，要 隱藏式灑水頭設計 廠房結構與機台防震設計 通過主管機關檢查並取得合格證並 製程冷卻水管路噪音防護 源所採取對應之管控措施彙整如 表
求機台於廠區發生五級地震後(>80 定期執行複檢，在固定式起重機操 EUV Laser使用大量PCW作機台冷 3，自公司2011裝設第一部EUV機
EUV區域設置灑水頭進行防護，為 EUV總重達65公噸，且最上層組 台後針對安全管理仍持續不斷強
Gal)需重新進行氫氣管路測漏及含 作使用方面，每日欲使用固定式起 卻，在管路轉折及調整流量閥件處
避免固定式起重機運行過程中或地 件安裝高度達2公尺以上，必須安 化，硬體方面包含增設降低火災風
氧濃度測試，通過後方可再送氫 重機前需依據危險性機械使用流程 易產生明顯噪音(約90分貝)，為降
震發生時其他物體碰撞灑水頭破裂 裝「無塵室固定式起重機」來解決 險與水損的ACV/Y型過濾器與獨立
氣。 申請設備高風險作業，完成自動檢
而造成水損，該區灑水頭為隱藏式 裝機與維修保養過程之重物搬運問 低裝機階段及PM維修人員噪音暴 VESDA，人員作業管理方面則訂定
查程序後由具備危險性機械操作證
如 圖2 。 題。無塵室固定式起重機與機台防 露危害，針對噪音來源進行工程 標準化的SMOC審核機制及建置強
照人員執行，內部施作流程則依循
震基座安裝前，針對廠房鋼構、固 改善，改善方式包含PCW管路包 震BCP與水損緊急應變計畫，在經
機台水損風險控制措施 「EUV固定式起重機作業流程」管
機台漏液偵測與安全連鎖 定式起重機結構及樓板依TBC code 覆FM認證材質隔音棉及安裝消音 過執行各項管控措施後，五大主要
控。
(建築物耐震設計規範)及台積電地 箱，經過改善後現場量測值可大幅 危害來源之殘餘風險均已降至低風
EUV主機台及附屬設備使用大量
移除獨立區域水及化學品管路 降低約10分貝如 圖3 。
PCW，如有漏水會影響整體區域 震防護程序書進行計算並取得結構 險，有效降低EUV設置對廠區的可
EUV機台造價昂貴，且肩負先進製 技師之簽證報告以確保強震時具有 個人安全防護具管理 能危害並避免公司關鍵製程設備受
溫溼度及對機台造成損失；為使漏
程成功之重要責任，為預防機台上 足夠之抗震力，而主機台及其附屬 EUV原理為利用雷射光激發液化錫 損。
液發生時能即時偵測並連鎖關斷
方管路洩漏造成水損，除消防管線 設備則另通過SEMI-S2地震防護之 (Sn)滴而產生超紫外光，人員須定 機台本質設計及變更風險控制
來源，除了於主機台設置有RGA
外，其他水路或化學品管路配置不 認證，其他水、氣、電管路亦妥善 期更換錫滴產生裝置及反應錫滴收 措施
(Residual Gas analyzer)即時監控
可穿越主機台上方，如因特殊因素 固定。 集桶、清潔被錫滴汙染之光學片以
水氣濃度，當機台發生漏水即會 公司持續與設備商共同進行硬體
不可達成才可依下列相關規定執行 使機台能穩定產生EUV光源，為避
alarm並關閉供應閥件，其他附屬設 升級改造以提升EUV效能，有鑑於 結論
(加壓的管路或Drain管不適用)： 備如Dry Laser、Local Scrubber、 震後復原計畫(BCP) 免人員暴露於化學物質氧化錫及高 EUV改造具時效性與測試不確定
– Drain管為金屬材質，且有金屬或 Vacuum Pump 等機櫃亦設有Leak 為確保災害發生後設備商能依程序 溫接觸的風險，於300 MM FAB 性，因此必須建立安全審核機制
為FM認證材質之盛漏盤 Sensor，作動即會將訊號連動主機 進行機台搶救並提供充足支援人 NON-OPERATION PPE程序書明 以確保能即時並有效控制變更所 EUV技術是下個世代晶圓製程的關
台停止製程。 確定義各項作業所需配戴個人防護 帶來的風險，建立規範如下：新 鍵技術，但對於安全風險管控領域
– 盛漏盤需設置L eak S en so r 員，除要求EUV單位依營運持續管 具，廠區工安單位藉由執行防護具 則是一個新的挑戰，機台設備本質
(MAU管路須連動關閉排放閥) 理計畫程序書建置強震BCP外，亦 使用與保存檢點稽核，確保落實 型號機台應提供完整版SEMI-S2報
水損搶救緊急應變演練 要求機台EUV廠商、無塵室固定式 告並通過NTCC審查、其他改造依 安全方面經由SEMI-S2認證把關，
– 需有避免漏液沿鋼構與地板縫隙 度。 SEMI-S10 (風險評估及風險估算過 廠內則藉由上述硬體建置及作業程
依緊急應變程序書水損搶救流程 起重機廠商擬訂震後復原程序及緊
滲漏防護措施(如：止水墩/防水 程之安全基準)進行變更風險等級 序訂定來降低運轉風險，然而後續
(water damage salvage proce- 急應變人力建置規劃，以求在強震
滾邊/獨立水溝) 永久磁場與Laser危害預防 仍有部分硬體可再加以改善，如 表
dure)，預先擬定大量水損緊急應變 發生後能以最快速度完成設備安全 鑑別，高度風險需提供第三方認證
計畫並安排相關單位(廠務、設備 確認後回復生產。 EUV在Source及Scanner，表面3公 單位所提供符合SEMI-S2標準之聲 4 ，以強化異常即時監控能力並提升
獨立消防自動警報逆止閥(ACV)與 商)實際進行演練，演練內容包含 分距離處磁場強度(Source：30G； 明文件，如屬中度風險則設備商需 設備生產穩定度，達成研發、生產
Y型過濾器 與安全三贏的目標。
隔離汙染、除濕乾燥、覆蓋設備… Scanner：150G)有大於心律調節 提供內部安全審查符合SEMI-S2標
另為強化水損意外發生時之應變 等動作，以提升設備及相關單位對 人員作業危害風險控制措施 器的危害強度(>5G)，因此操作或 準之聲明文件。

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