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 技術專文


 圖2、天花板灑水頭（隱藏式）設置圖  圖3、製程冷卻水管路隔音棉與消音箱安裝


 向上型撒水頭及管路






 SAMPLING HOLE  SAMPLING PIPE
 FAB CEILING


 C/R

 向下型撒水頭及管路






 為提供氫氣洩漏時第二層安全防  管理，EUV區域新增撒水系統獨立  於水損之應變能力。
              危險性機械(固定式起重機)作業管                可能暴露在磁場危害人員作業前均                  結果與分析
 護，要求內含氫氣管路的氣體閥箱  ACV，並針對獨立ACV增設Y型過
              理                               施予教育訓練並於機台端張貼中、
 接頭不可外露並且配置Exhaust抽  濾器，降低水損意外發生時水中雜
 氣(不可使用鋁箔軟管)及裝設氣體  質汙染機台的機率。  強震損害風險控制措施  無塵室固定式起重機單座吊升荷重  英文危害警告標示。
 偵測器進行監控。為避免強震發生  為10公噸，屬法定之危險性機械，                                             綜上所述，針對EUV各主要風險來
 後管路鬆脫造成氫氣洩漏風險，要  隱藏式灑水頭設計  廠房結構與機台防震設計  通過主管機關檢查並取得合格證並  製程冷卻水管路噪音防護          源所採取對應之管控措施彙整如 表
 求機台於廠區發生五級地震後(>80   定期執行複檢，在固定式起重機操          EUV  Laser使用大量PCW作機台冷            3，自公司2011裝設第一部EUV機
 EUV區域設置灑水頭進行防護，為  EUV總重達65公噸，且最上層組                                            台後針對安全管理仍持續不斷強
 Gal)需重新進行氫氣管路測漏及含  作使用方面，每日欲使用固定式起           卻，在管路轉折及調整流量閥件處
 避免固定式起重機運行過程中或地  件安裝高度達2公尺以上，必須安                                              化，硬體方面包含增設降低火災風
 氧濃度測試，通過後方可再送氫  重機前需依據危險性機械使用流程              易產生明顯噪音(約90分貝)，為降
 震發生時其他物體碰撞灑水頭破裂  裝「無塵室固定式起重機」來解決                                              險與水損的ACV/Y型過濾器與獨立
 氣。           申請設備高風險作業，完成自動檢
 而造成水損，該區灑水頭為隱藏式  裝機與維修保養過程之重物搬運問             低裝機階段及PM維修人員噪音暴                  VESDA，人員作業管理方面則訂定
              查程序後由具備危險性機械操作證
 如 圖2 。  題。無塵室固定式起重機與機台防                      露危害，針對噪音來源進行工程                   標準化的SMOC審核機制及建置強
              照人員執行，內部施作流程則依循
 震基座安裝前，針對廠房鋼構、固                              改善，改善方式包含PCW管路包                  震BCP與水損緊急應變計畫，在經
 機台水損風險控制措施   「EUV固定式起重機作業流程」管
 機台漏液偵測與安全連鎖  定式起重機結構及樓板依TBC code             覆FM認證材質隔音棉及安裝消音                  過執行各項管控措施後，五大主要
              控。
 (建築物耐震設計規範)及台積電地                             箱，經過改善後現場量測值可大幅                  危害來源之殘餘風險均已降至低風
 EUV主機台及附屬設備使用大量
 移除獨立區域水及化學品管路                                降低約10分貝如 圖3 。
 PCW，如有漏水會影響整體區域  震防護程序書進行計算並取得結構                                              險，有效降低EUV設置對廠區的可
 EUV機台造價昂貴，且肩負先進製  技師之簽證報告以確保強震時具有  個人安全防護具管理                                  能危害並避免公司關鍵製程設備受
 溫溼度及對機台造成損失；為使漏
 程成功之重要責任，為預防機台上  足夠之抗震力，而主機台及其附屬  EUV原理為利用雷射光激發液化錫                            損。
 液發生時能即時偵測並連鎖關斷
 方管路洩漏造成水損，除消防管線  設備則另通過SEMI-S2地震防護之  (Sn)滴而產生超紫外光，人員須定  機台本質設計及變更風險控制
 來源，除了於主機台設置有RGA
 外，其他水路或化學品管路配置不  認證，其他水、氣、電管路亦妥善  期更換錫滴產生裝置及反應錫滴收  措施
 (Residual  Gas  analyzer)即時監控
 可穿越主機台上方，如因特殊因素  固定。  集桶、清潔被錫滴汙染之光學片以
 水氣濃度，當機台發生漏水即會                               公司持續與設備商共同進行硬體
 不可達成才可依下列相關規定執行  使機台能穩定產生EUV光源，為避
 alarm並關閉供應閥件，其他附屬設                           升級改造以提升EUV效能，有鑑於                 結論
 (加壓的管路或Drain管不適用)：  備如Dry  Laser、Local  Scrubber、  震後復原計畫(BCP)  免人員暴露於化學物質氧化錫及高  EUV改造具時效性與測試不確定
 – Drain管為金屬材質，且有金屬或  Vacuum  Pump  等機櫃亦設有Leak   為確保災害發生後設備商能依程序  溫接觸的風險，於300  MM  FAB   性，因此必須建立安全審核機制
 為FM認證材質之盛漏盤  Sensor，作動即會將訊號連動主機  進行機台搶救並提供充足支援人  NON-OPERATION  PPE程序書明  以確保能即時並有效控制變更所  EUV技術是下個世代晶圓製程的關
 台停止製程。       確定義各項作業所需配戴個人防護                 帶來的風險，建立規範如下：新                   鍵技術，但對於安全風險管控領域
 – 盛漏盤需設置L eak  S en so r   員，除要求EUV單位依營運持續管  具，廠區工安單位藉由執行防護具                  則是一個新的挑戰，機台設備本質
 (MAU管路須連動關閉排放閥)  理計畫程序書建置強震BCP外，亦  使用與保存檢點稽核，確保落實  型號機台應提供完整版SEMI-S2報
 水損搶救緊急應變演練  要求機台EUV廠商、無塵室固定式                 告並通過NTCC審查、其他改造依                 安全方面經由SEMI-S2認證把關，
 – 需有避免漏液沿鋼構與地板縫隙  度。                         SEMI-S10  (風險評估及風險估算過            廠內則藉由上述硬體建置及作業程
 依緊急應變程序書水損搶救流程  起重機廠商擬訂震後復原程序及緊
 滲漏防護措施(如：止水墩/防水                              程之安全基準)進行變更風險等級                  序訂定來降低運轉風險，然而後續
 (water  damage  salvage  proce-  急應變人力建置規劃，以求在強震
 滾邊/獨立水溝)     永久磁場與Laser危害預防                                                   仍有部分硬體可再加以改善，如 表
 dure)，預先擬定大量水損緊急應變  發生後能以最快速度完成設備安全          鑑別，高度風險需提供第三方認證
 計畫並安排相關單位(廠務、設備  確認後回復生產。  EUV在Source及Scanner，表面3公  單位所提供符合SEMI-S2標準之聲        4 ，以強化異常即時監控能力並提升
 獨立消防自動警報逆止閥(ACV)與  商)實際進行演練，演練內容包含  分距離處磁場強度(Source：30G；  明文件，如屬中度風險則設備商需     設備生產穩定度，達成研發、生產
 Y型過濾器                                                                         與安全三贏的目標。
 隔離汙染、除濕乾燥、覆蓋設備…  Scanner：150G)有大於心律調節        提供內部安全審查符合SEMI-S2標
 另為強化水損意外發生時之應變  等動作，以提升設備及相關單位對  人員作業危害風險控制措施  器的危害強度(>5G)，因此操作或  準之聲明文件。



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