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Tech
Notes
技術專文

參考文獻
表 3、EUV 風險鑑別與管控措施
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風險類別 風險來源 殘餘風險 安全防護設計 2011 2018
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火災爆炸 機台運轉使用氫氣洩漏 低 天花板上方增設極早期火災預警系統 V ESH DESIGN & CONSTRUCTION C.I.
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強震損害 強烈地震發生 低 廠房結構符合耐震設計規範與技師簽證 V V

SEMI-S2地震防護認證 V V

震後復原計畫建置 V
人員作業危害 氫氣洩漏/重物搬運 低 氣體管路與危險性機械高風險作業管制 V V

化學物接觸 個人防護具規範與管理 V V

水路噪音 製程冷卻水管路噪音防護 V

磁場/雷射 永久磁場與雷射危害預防 V V

機台本質不安全 新型號機台與硬體改造 低 新型式機台須通過新機台安全審核 V V
機台改造變更管理審核標準 V

註: *如需跨越須符合前段移除獨立區域水及化學品管路之規範

表 4、EUV 安全管理持續改善建議事項

類別 持續改善建議

廠務供應系統強化 EUV主機(氫氣)與Local Scrubber主/備機(NG)由獨立盤面供應，避免因氣體偵測系統動作連鎖關閉氣源而影響其他機
台運轉
避免不純物質燃燒反應後生成物由GEX煙囪排放，建議Local Scrubber由潔淨度較高的水源取代回收水、強化Local
Scrubber廢氣處理能力或評估設置EUV專管煙囪水洗裝置三方面進行強化

安全監控系統強化 訂定EUV區域監視系統設置標準

緊急應變強化 強震之營運持續計劃之外，針對其他高風險情境擬定對應營運持續計畫及緊急應變計畫，並執行演練

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