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Tech
Notes
技術專文

Risk Analysis and Coping

Strategies for

Pyrophoric

Material

in Usage of Semiconductor

Manufacturing Plant

發火性物質運轉風險與安全對策

半導體製程陸續使用越來越多發火性物質於生產過程中，此類發火性物質大部份兼具禁水特性，於異常洩
漏時遇空氣自燃且接觸水會產生非常劇烈反應。本研究應用 HazOp 風險分析方法及參考 SEMI-5761B 草案
規範，針對使用發火性物質進行節點分析，依評估結果進行五項改善，包含：儲區：獨立隔間、全時監測
設備；應變：專用鋼瓶推車；供應系統：雙套管輸送加上負壓監控、自動乾粉系統防護；機台設備：雙液
計監控及過補液設定；廢氣安全連鎖：補足廢氣處理設備 (scrubber) 及現地供應系統 (dispense Supply) 狀
態互鎖，最後納入定期自動檢查，讓發火性物質運轉管理控制更加安全有效。
關鍵詞/ 發火、鋼瓶、風險評估、SEMI-5761B草案規範
Keywords/ Pyrophoric, Cylinder, SEMI-5761B, Risk Assessment
文│韓兆祥 謝佳霖 呂欣│十四B廠工安衛生部│

前言 膚和呼吸道粘膜均有害，吸入後導致氣管和肺損
傷，嚴重時能引起肺水腫危害。發火性物質洩漏
反應如 圖1 。
台積公司在先進半導體製程技術逐步使用發火性
發火性物質倘若操作稍有不慎，可能造成人員傷
物質作為生產原料，本研究以三甲基鋁作研究對
象。三甲基鋁具發火及禁水性特性，不慎洩漏於 亡、火災爆炸、搶救困難等工安問題，甚至污染
空氣中時產生自燃反應，接觸水則會釋放出可燃 無塵室導致生產中斷等嚴重問題，故如何做好發
性氣體產生燃燒或爆炸反應，反應時會產生對人 火性物質運轉風險與安全管理，將為半導體工安
體有害的煙霧，具刺激及腐蝕性，對於眼睛、皮 預防最重要的課題。

新製程 + 新危害物質 = 工安 其疾如風，其徐如林，侵 擔任環安衛工程師
兆 祥 韓 C.H. Han 新挑戰！在台積十年的日子， 佳 霖 略如火，不動如山，難知 欣 呂 Hsin Lu 七 餘 年， 很 榮 幸 參
期許自己每天都進步一點點。 謝 Tom Hsieh 如陰，動如雷震，金鼓旌 與合作為廠內運轉
興趣 : 喜歡流汗，熱愛運動。 旗者，所以一人之耳目也。 進行安全把關。

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中科十五廠七期發火性物質消防防護 攝影/洪湘寧