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技術專文

圖9、五級地震自動/遠端手動關斷供應示意圖 圖14、發火性鋼瓶更換作業 圖15、自動關斷偵測系統

地震儀 GMS SCADA GMS Remote I/O Panel LDS UV/IR
RS-232 EtherNet DO訊號NC接點

DI訊號NC接點
DI訊號(45級、警報乾接點) 合格鋼瓶
GMS EMO Panel 5級地震連動氣櫃 Smoke
(Auto)
DI訊號NO接點
ERC新增EMO (Manual) UV/IR

夥同作業 專用推車
圖10、雙液計及過補液監控示意圖 圖11、防迴火溫度監控示意圖

chamber supply
液位雙重監控 Tool + 小鋼瓶
Byproduct累積 結論
反應，燃燒風險 圖16、年度消防訓練－發火性物質洩漏應變教學
N2 Pump
H line
85% M到H液位所需時間30秒 Pump
M 過補設定應小於30秒 防迴火 T 針對上述改善建議，為求各廠區能
750g Purge
常用液位(M)：30秒 LSC LSC Pump vent 平行展開由點延伸到面，已修訂發
backup
L LDS 火性物質安全管理相關作業指導書
25% Pump (Operational Instructions, OI)、納
防迴火 T 入物料清單(Bill of materials, BOM
N2 LDS鋼瓶更換Purge異常，
Leak sensor 重量監控 化學品漏氧燃燒 表)，期許從採購發包至廠內運
轉，均能達到安全標準化的要求。

行政管理 同時比較 SEMI-5761B安全規範，
圖12、廢氣處理設備異常連鎖示意圖
工程師與ISEP人員於開工前確認 納入使用單位定期應變演練課程， 下列項目可列入未來改善方向：
– 進貨管制：發火性物質隸屬法規
各項程序完整與人員作業資格始 每年至少一次進行應奱演練，強化
管制之第三類公共危險物品，儲 – 化學品供應櫃建置門禁管制：限
可執行。強化相關管制要求的目 異常處理程序。 定合格人員刷卡開門，開門警報
存場所限定儲存量的問題。最有 Tool 的就是讓更換人員深知危害，落
效的方法為源頭卡關，自庫房進 3F 為了讓使用發火性物質的同仁都能 回傳ERC值班室；
實各一步安全操作要領，如 圖
貨管理系統設定發火性鋼瓶進 熟悉應變處理及滅火要領，納入年 – 鐵甲櫃新增EMO：現有EMO設置
14。
貨管制量(小於10公斤)，並且限 度消防訓練必訓項目之一，並且將 於供應櫃需開門才能按壓，影響
異常連鎖裝置 異常連鎖裝置
定儲位管制於安全櫃張貼管制看 2F LDS – 落實自動檢查：化學品供應系統 實際滅火訓練過程製作影集，藉由 應變時效；
板，有效清點鋼瓶數量，僅限發 自動關斷偵測在啟用前均通過安 撥放動態滅火操作要領讓同仁能更
– 定義發火性廢棄物處理規範：避
火性小鋼瓶儲存，發火性大鋼瓶 EXH 檢程序 (ex.UV/IR、偵溫器)，確 深入了解，如 圖16 。
免不相容廢棄物物混儲造成反應
當日進/出廠，不暫存庫房，如 認其安全系統有效，但年久失修 的風險。
Pump LS 主 LS 備 Pump
圖13。 1F 可能會失去正常功能，無法達到
圖13、發火性鋼瓶儲存櫃管制看板 有效偵測自動關斷的安全要求， 風險控制結果
– 專職鋼瓶更換人員認證及程序控
所以必須定期自動檢查制度確認 基於HazOp風險評估結果，著手強
制：人員失誤為作業安全最不可
其功能性良好，以達防災減損的 化相關硬體防護、行政管理、緊急 參考文獻
控制之因素之一，對鋼瓶更換人 0 禁水性物質專用儲存櫃與儲存注意事項
TSMC Property 效果，如 圖15 。
 本櫃儲存物品屬公共危險物品規第三類禁水性物質禁水性物質;不得儲 應變。經重新評估風險，化學品供 [1] 勞部部職業安全衛生署，GHS化學品全
員資格要求，設有發火性物質專 存其他非禁水性物質物品。 球調合制度，https://ghs.osha.gov.tw
 儲存櫃內儲存基本資料： 應設備及生產機台因位處無塵室，
屬教材，更換人員均應通過訓 料號 品名 危害辨識 容器材質 需求存量 鋼瓶填充量 存量統計 總量統計 法規管制量 [2] 維基百科網站https://zh.wikipedia.org
(Kg)
(Kg)
(Kg)
(Kg)
L148124 PDMAT 禁水1級 4 4 0.25 0.2 0.8 1 緊急應變 一旦洩漏所造成的影響最為嚴重，
L148116 TMA
禁水1級
練，並由原廠考核通過後，經單 L101809 TDMAT 禁水1級 金屬 2 6 0.22 2.2 1.32 7.52 10 [3] 唐欣瑜，「探究三甲基鋁在空氣中的
4.4
L102013 Alexa
禁水1級
其風險仍在中度風險(風險等級大 自燃反應」，國立交通大學，新竹，
位主管審核才可進行作業，並要  Solvent room 所有禁水性物質法規總管制量為10kg，嚴禁超量儲存 台積公司設置有各類緊急應變檢核 2009。
 滅火措施： 於6)，其餘項目經強化後均降至低
求每季回訓與測驗。在作業許可  禁水性物質起火時請使用專用滅火器 (放置於儲區入口處) 表，作為指揮官應變依據，針對發 [4] 美國泰科國際有限公司，烷基金屬火災
 禁水性物質遇水會劇烈反應，禁水性物質火災嚴禁用水撲滅
解決方案，2015。
制度的要求，作業前至施工管理  儲存禁水性物質項目或最大存量若有變更，必須通知並獲得廠區工安 火性物質洩漏，依化學災害處理原 度風險(風險等級小於6)，如 表5所 [5] SEMI, Safety Guideline for Use of
環保部同意後，方可變更。
示。 Energetic Materials in Semiconductor
系統提出申請並完成主管簽核， 則(HAZMAT)，擬定應變準則並增
鋼瓶管制看板 R&D and Manufacturing Processes
鋼瓶更換採夥同作業並且由設備 訂發火物質洩漏應變檢查表。並且 (SEMI-5761). Milpitas, Californi, 2017。
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