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 技術專文


 圖9、五級地震自動/遠端手動關斷供應示意圖  圖14、發火性鋼瓶更換作業                          圖15、自動關斷偵測系統


 地震儀  GMS SCADA  GMS Remote I/O Panel  LDS                                                     UV/IR
 RS-232  EtherNet  DO訊號NC接點

 DI訊號NC接點
 DI訊號(45級、警報乾接點)                           合格鋼瓶
 GMS EMO Panel  5級地震連動氣櫃                                                                      Smoke
 (Auto)
 DI訊號NO接點
 ERC新增EMO (Manual)                                                                             UV/IR



                夥同作業                       專用推車
 圖10、雙液計及過補液監控示意圖  圖11、防迴火溫度監控示意圖

 chamber  supply
 液位雙重監控  Tool + 小鋼瓶
 Byproduct累積                                                                   結論
 反應，燃燒風險      圖16、年度消防訓練－發火性物質洩漏應變教學
 N2  Pump
 H  line
 85%  M到H液位所需時間30秒  Pump
 M  過補設定應小於30秒  防迴火 T                                                          針對上述改善建議，為求各廠區能
 750g  Purge
 常用液位(M)：30秒  LSC  LSC  Pump  vent                                             平行展開由點延伸到面，已修訂發
 backup
 L  LDS                                                                        火性物質安全管理相關作業指導書
 25%  Pump                                                                     (Operational  Instructions,  OI)、納
 防迴火 T                                                                         入物料清單(Bill  of  materials,  BOM
 N2  LDS鋼瓶更換Purge異常，
 Leak sensor  重量監控  化學品漏氧燃燒                                                    表)，期許從採購發包至廠內運
                                                                               轉，均能達到安全標準化的要求。

 行政管理                                                                          同時比較  SEMI-5761B安全規範，
 圖12、廢氣處理設備異常連鎖示意圖
                工程師與ISEP人員於開工前確認              納入使用單位定期應變演練課程，                  下列項目可列入未來改善方向：
 – 進貨管制：發火性物質隸屬法規
                各項程序完整與人員作業資格始                每年至少一次進行應奱演練，強化
 管制之第三類公共危險物品，儲                                                                – 化學品供應櫃建置門禁管制：限
                可執行。強化相關管制要求的目                異常處理程序。                            定合格人員刷卡開門，開門警報
 存場所限定儲存量的問題。最有  Tool  的就是讓更換人員深知危害，落
 效的方法為源頭卡關，自庫房進  3F                           為了讓使用發火性物質的同仁都能                    回傳ERC值班室；
                實各一步安全操作要領，如  圖
 貨管理系統設定發火性鋼瓶進                                熟悉應變處理及滅火要領，納入年                  – 鐵甲櫃新增EMO：現有EMO設置
                14。
 貨管制量(小於10公斤)，並且限                             度消防訓練必訓項目之一，並且將                    於供應櫃需開門才能按壓，影響
 異常連鎖裝置  異常連鎖裝置
 定儲位管制於安全櫃張貼管制看  2F  LDS  – 落實自動檢查：化學品供應系統    實際滅火訓練過程製作影集，藉由                    應變時效；
 板，有效清點鋼瓶數量，僅限發  自動關斷偵測在啟用前均通過安               撥放動態滅火操作要領讓同仁能更
                                                                               – 定義發火性廢棄物處理規範：避
 火性小鋼瓶儲存，發火性大鋼瓶  EXH  檢程序  (ex.UV/IR、偵溫器)，確   深入了解，如 圖16 。
                                                                                 免不相容廢棄物物混儲造成反應
 當日進/出廠，不暫存庫房，如  認其安全系統有效，但年久失修                                                  的風險。
 Pump  LS 主  LS 備  Pump
 圖13。  1F       可能會失去正常功能，無法達到
 圖13、發火性鋼瓶儲存櫃管制看板  有效偵測自動關斷的安全要求，             風險控制結果
 – 專職鋼瓶更換人員認證及程序控
                所以必須定期自動檢查制度確認                基於HazOp風險評估結果，著手強
 制：人員失誤為作業安全最不可
                其功能性良好，以達防災減損的                化相關硬體防護、行政管理、緊急                  參考文獻
 控制之因素之一，對鋼瓶更換人  0  禁水性物質專用儲存櫃與儲存注意事項
 TSMC Property  效果，如 圖15 。
  本櫃儲存物品屬公共危險物品規第三類禁水性物質禁水性物質;不得儲            應變。經重新評估風險，化學品供                  [1]  勞部部職業安全衛生署，GHS化學品全
 員資格要求，設有發火性物質專  存其他非禁水性物質物品。                                                     球調合制度，https://ghs.osha.gov.tw
  儲存櫃內儲存基本資料：                                應設備及生產機台因位處無塵室，
 屬教材，更換人員均應通過訓  料號  品名  危害辨識 容器材質 需求存量 鋼瓶填充量  存量統計  總量統計  法規管制量                [2]  維基百科網站https://zh.wikipedia.org
 (Kg)
 (Kg)
 (Kg)
 (Kg)
 0.2
 L148124 PDMAT  禁水1級  4 4  0.25  0.8 1  緊急應變  一旦洩漏所造成的影響最為嚴重，
 禁水1級
 L148116 TMA
 練，並由原廠考核通過後，經單  L101809 TDMAT  禁水1級  金屬  2 6  0.22  4.4 1.32  7.52  10        [3]  唐欣瑜，「探究三甲基鋁在空氣中的
 2.2
 L102013 Alexa
 禁水1級
                                              其風險仍在中度風險(風險等級大                     自燃反應」，國立交通大學，新竹，
 位主管審核才可進行作業，並要   Solvent room 所有禁水性物質法規總管制量為10kg，嚴禁超量儲存  台積公司設置有各類緊急應變檢核        2009。
  滅火措施：                                      於6)，其餘項目經強化後均降至低
 求每季回訓與測驗。在作業許可   禁水性物質起火時請使用專用滅火器 (放置於儲區入口處)  表，作為指揮官應變依據，針對發                [4]  美國泰科國際有限公司，烷基金屬火災
  禁水性物質遇水會劇烈反應，禁水性物質火災嚴禁用水撲滅
                                                                                  解決方案，2015。
 制度的要求，作業前至施工管理   儲存禁水性物質項目或最大存量若有變更，必須通知並獲得廠區工安  火性物質洩漏，依化學災害處理原  度風險(風險等級小於6)，如 表5所  [5]  SEMI, Safety Guideline for Use of
 環保部同意後，方可變更。
                                              示。                                  Energetic Materials in Semiconductor
 系統提出申請並完成主管簽核，  則(HAZMAT)，擬定應變準則並增
 鋼瓶管制看板                                                                           R&D  and  Manufacturing  Processes
 鋼瓶更換採夥同作業並且由設備  訂發火物質洩漏應變檢查表。並且                                                  (SEMI-5761). Milpitas, Californi, 2017。
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