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技術專文

過大的環境下，乾粉滅火器的效果 危害鑑別與風險評估流程
表 3、SEMI-5761B 安全準則 圖4、風險評估分析方法流程圖
不佳，其噴射擾動易讓火源溢散， 本文分析方法以危害與可操作性分
煙塵影響嚴重。建議滅火優先使用 析(Hazard and Operability Analysis,
章節 章節說明 規範說明
蛭石，蛭石為一種多孔性材料，高 組成評估小組 HazOp)為主，安全評估階段由設備
膨脹性、吸附能力佳覆蓋即滅火，
11 氣體及液體 11.1 閥件設計、液位指示 工程師、製程工程師、工安衛生人
擾動不復燃。唯在使用時需佩戴防 化學品供應 收集製程/系統資訊 員及廠務工程師等組成跨組織的評
－容器標準 11.2 緊急防堵-足夠緊急應變能量
護具，防止人體吸入及眼睛接觸危 估小組，參照管線儀錶圖(P&ID)、
11.3 檢查、處理與運送程序
害。發火性物質採用氣源加壓輸送 初步危害分析 安全連鎖裝置(Safety interlock)、操
12 設施儲存容 12.1 入廠檢查程序、緊急應變、運送程序
供應，在危害源未關斷的狀態下， What-if
器接收儲存 作手冊及維修手冊進行What-if腦力
任何滅火劑均無法有效撲滅火勢。 檢查、運輸 12.2 緊急應變小組
及緊急應變 是否為高度/中度危害 激盪以各自專長領域發掘問題，並
12.3 廠內儲存規定 之製程區/次系統？ End
所以在滅火應變策略的程序，首要 提出風險控制改善。
12.4 標示、區域防火時效/安全儲櫃/洩漏偵測/滅火器
關斷危害源、滅火優先使用蛭石、 安全評估首先執行初步危害分
12.5 緊急洩漏處理站
MET-L-KYL乾粉滅火器為輔，使用 HazOp 進一步之系統安全分析 析(Preliminary Hazard Analysis,
13 化學及氣體 13.1 化學供應櫃 (2.5mm鋼板材、自動關閉/上鎖的門、單手可操作的門)
前需經由應變指揮官同意。 PrHA)，所採用之方法為What-if腦
供應系統－
供應標準 13.2 通風 重大危害事件是否 End 力激盪法。將廠內有發火性物質運
需量化風險？
13.3 火焰與煙霧偵測
作的作業、區域進行細部評估。危
SEMI-5761B（草案） 13.4 化學櫃認證
害分析流程如 圖4所示。
風險管理
由於半導體製造技術戰略聯盟 13.5 其他SEMI S2 安全需求 (承漏盤/液體偵測/過量供控制/EMO/接地)
(Semiconductor Manufacturing 14 化學及氣體 14.1 遠程輸送系統符合防火法規
供應系統－ 發火性物質運作分析節點圖
Technology, SEMATEC)在2013 用戶標準 14.3 輸送管路双套管 危害與可操作性分析系統需先劃定
年針對具高能量化學品(energetic 14.4 火災風險管理 圖5、發火性物質運作分析節點圖
分析的節點，依發火性物質於廠內
materials)，如發火性、禁水性、爆 14.5 供應系統相關安全規範
運作的區段及步驟主要部份包含鋼
炸性物質定義作業通則。由於此類 15 儲存容器供 15.1 隔絕 (隔離、門的規格、開門方式)
化學品當時顯少運用，陸續各會員 應系統－設 15.2 數量限制 A B 鋼瓶運送 H G 瓶運送及廢瓶繳回(A)、鋼瓶儲存
庫房儲存
備供應商標 (B)、化學品供應及輸送系統(C)、
持續分享運轉經驗，直到2017年 準 15.3 閥件要求 Fab RF C 化學品供應/
輸送設備
修訂成為SEMI-5761B草案，最終 D 機台設備 設備機台(D)、真空泵(E)、尾氣處
15.4 通風、局部排氣 理設備(F)、中央廢氣處理設備(G)
本研究將此SEMI-5761B草案標準 E 真空泵
15.5 火焰與煙霧偵測 Fab 4F F 尾氣處理設備 及排放煙囪(H)等共計8個節點，如
與台積公司執行現況進行比對，藉 G 中央廢氣處理設備 D
15.6 過溫保護 H 排放煙囪 圖5所示。
此尋找改善機會。
15.7 液位測監 (壓力偵測、高度聲波) 或秤重 鋼瓶運送
SEMI-5761B彙編目的為求降低在 15.8 過補控制 Fab 3F 廢瓶運送
化學品供應
研發和生產中使用禁水性/發火性 廢氣排放
15.9 標示
物質的風險，成員包括半導體大 結果與分析
15.1 吹沖程序
廠 (含英特爾、台積電等)、設備供 C
16 氣櫃及製程 16.1 氣櫃 (通風設備、偵測器、火焰、煙霧偵測) Fab 2F
應商、材料供應商，草案規範禁水 反應腔－設 16.2 製程反應: 過壓控制，過壓控制、預約不相容笏 A B E F 經由危害分析及風險評估後，風險
性/發火性物質從採購、儲存、處 備供應商標
準 16.3 安全的相關控制介面 (遠端控制、泵浦的運作) 管理著重在硬體防護、行政管理、
理、使用到廢棄的安全標準，前10
16.4 保養程序 Fab 1F 緊急應變等三項進行安全強化，唯
章屬於名詞解釋或一般常用資訊，
17 製程氣體透 17.1 製程副產物的移除 發火性物質本質危害無法排除，且
自第11章至19章分別說明供應
過幫浦 / 製 化學品供應設備及生產機台位處無
商、設備供應商及用戶端相關安全 程氣體處理 17.2 排氣管路設計 表 4、發火性物質運轉安全風險評估表
系統操作設 塵室，若不慎洩漏影響甚鉅，化學
建議事項，如 表3 。 [5] 17.3 減少製程副產物沉積
計
17.4 真空泵 節 系統風險 (製程偏離) 風險評估 品供應/輸送設備及機台設備二項
點
17.5 泵浦消音器 嚴重性 可能性 風險等級 在風險管理後仍在中度風險，未來
需持續加強管制。
17.6 遏制固件
A 發火性鋼瓶運送發生洩漏 2 3 6
計畫方法 17.7 減排系統 B 儲存區發火性鋼瓶發生洩漏（消防水系統噴放） 2 3 6
17.8 廢氣處理系統維修保養程序 危害分析及風險評估結果
C 化學品供應氣櫃輸送管線斷裂、閥件/接頭異常發生洩漏 4 3 12
18 設備 / 零件 18.1 廢棄物在清除與運送前需符合法規 危害與可操作性分析將風險等級
清潔及廢棄 D 機台端補液過量、閥件/接頭異常造成洩漏 3 3 9
本研究方法以危害與可操作性分析 18.2 清潔區域的硬體要求、PPE與廢棄物儲存運送之規定 大於6以上項目進行安全評估如 表
物處理程序 E 真空泵異常跳脫及不慎曝氧有管內燃燒風險 2 3 6
進行發火性物質於半導體廠運轉風 18.3 第三方廢棄物處理機構的要求 4，依據8個節點其中風險較高項目
F 尾氣處理設備異常跳脫 2 3 6
險分析，將各節點所發掘的問題， 為庫房儲存、鋼瓶運送、化學品供
19 危害控制 19.1 閥件要求、吹沖氣體與製程氣體的管制或污染預防 G 中央廢氣處理設備異常跳機 2 2 2
經由評估小組運用What-if腦力激盪 應設備、機台設備端、廢氣處理設
19.2 操作程序的責任、控制有害能量的方式、移除殘餘能量的要求 H 排放煙囪大量排放黑煙 2 2 2
法找出風險改善的最佳解法。 備。主要風險如下說明:
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