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技術專文

圖6、鋼瓶庫房儲存防護
表 5. 發火性物質改善前後風險評估表
安全資料表 鋼瓶儲存櫃 高點進氣
節點 系統風險 風險控制措施 風險評估 控制後預估風險 2小時獨立防火區劃 鋼瓶外容器金屬材質 防爆電器 UV/IR
(製程偏離)
嚴重性 可能性 風險等級 嚴重性 可能性 風險等級

A 發火性鋼瓶運送發生洩 運送專用推車備有防火毯及蛭石 2 3 6 2 2 4
漏 不鏽鋼容器包裝，容器取得認證
外包裝容器夾層放蛭石及防傾倒標示
入廠檢附出廠測漏報告
無塵室安全梯旁，設置應變專用推車
B 儲存區發火性鋼瓶發生 獨立2小時防火區劃 2 3 6 2 2 4
洩漏 場所電氣器具防爆
(消防水系統噴放) 良好通風換氣，環境低與高點排氣
環境滅火器 (D類滅火器、蛭石)
移除撒水頭，改由環境滅火器代替 MET-L-KYL乾粉滅火器 底部鋪設蛭石 環境低點排氣
C 化學品供應氣櫃輸送管 2小時防火時效防火櫃 4 3 12 4 2 8 蛭石桶
線斷裂、閥件/接頭異 設置自動乾粉滅火系統
常發生洩漏 輸送双套管、外管抽負壓失壓即連鎖
五級地震連動關斷供應系統
D 機台端補液過量、閥件 雙液位計監控、過補液時間設定 3 3 9 3 2 6 圖7、應變專用推車
/接頭異常造成洩漏 漏液偵測器
輸送管路為金屬材質
切管列高風險作業, ISEP開工全檢
定期緊急應變演練
E 真空泵異常跳脫及不慎 真空泵異常訊號連動供應氣櫃， 2 3 6 2 2 4
曝氧有管內燃燒風險 禁止執行換鋼瓶前沖吹程序
F 尾氣處理設備異常跳脫 尾氣設備異常訊號連動供應氣櫃， 2 3 6 2 2 4
禁止執行換鋼瓶前沖吹程序
G 中央廢氣處理設備異常 設備定期維修保養 2 2 2 2 2 4
跳機 定期執行相關應變演練
H 排放煙囪大量排放黑煙 廠務值班24小時監控 2 2 2 2 2 4
異常復機程序、主備機制度
All in one 應變推車 安全梯出入口旁設置 滅火毯 圓鍬
蛭石桶
– 庫房儲存(節點B)：儲放發火性 經過風險評估後，採取風險控制手 效，如 圖7 。
鋼瓶，洩漏時恐與消防水產生劇 法著重於硬體防護、行政管理、緊 圖8、防火鐵甲櫃及相關硬體防護
– 化學品供應設備：發火性物質考
烈反應。 急應變三大部份進行強化。
量輸送距離的限制，水平距離
– 鋼瓶運送(節點A→B、B→ C)： 應小於100公尺，垂直距離小於
運送路線行經無塵室，洩漏初期 硬體防護 一個樓層約6公尺，以致化學品
應變器材不易取得。 – 鋼瓶庫房：若發生地震、人員搬 供應設備僅能設置於無塵室內，
運失誤造成鋼瓶傾倒洩漏自燃， 輸送方式採氣源加壓輸送至機台
– 化學品供應設備(節點C)：大量
觸動消防水系統噴放導致有發火 端。無論是氣櫃內鋼瓶、管路或
發火性物質加壓輸送，管路斷裂
性物質與水反應的風險。因此參 閥件異常、輸送管路因外力斷裂
或閥件、接頭洩漏造成燃燒。
考法規及相關安全規範設置專 洩漏在無塵室內都會造成巨大的 防火鐵甲櫃 化學品供應櫃 外管負壓監控
– 機台設備(節點D)：機台內小鋼 用儲存區具有2小時防火獨立空 災害，對此設置具2小時防火時 自動乾粉滅火系統 雙套管設計
瓶補液過量造成洩漏的風險。 間、全區防爆電器及全時火警監 效之鐵甲櫃，採用櫃中櫃方式儲
控系統，鋼瓶統一儲放於安全櫃 存鋼瓶，且設置自動乾粉滅火系
– 廢氣處理設備－真空泵及廢氣處
內，並且移除消防水系統改由環 統於第一時間抑制燃燒、覆蓋自 發生大規模的地震可能造成管線 補液過量造成洩漏。故針對補液 警戒值時，連動氮氣噴放進行降
理設備(節點E、F)：後端管路不
境滅火設施替代，以確保鋼瓶儲 燃物，有效達到隔絕的效果，如 彎折破裂、接頭鬆脫的風險。建 防呆設計採用雙液計監控及最大
慎曝氧有燃燒風險、真空泵及廢 溫及滅火，如 圖11 。
存安全，如 圖6 。 圖8。 構遇五級地震時自動關斷供應的 補液秒數設定限制，當補液系統
氣處理設備與氣櫃無訊號連結， 機台與廢氣處理設備 (真空泵、
另外防止在輸送管線端因外力造 保護機制，並設置遠端關閉EMO 異常時，能有效連鎖氣櫃停止進
異常時訊號僅連動主機台。 – 鋼瓶運送：鋼瓶運送路線行經全 尾氣處理設備) 之間設有異常監
成斷裂發生洩漏的危害上，研擬 於ERC緊急應變中心，一旦有危 行補液動作，如 圖10。
廠若在運送過程不慎碰撞、傾倒 控連鎖，而供應氣櫃卻沒有！當
危害分析結果進行風險控制，整合 主動式預警止漏及切斷供應的防 害洩漏時，由應變指揮官下令關
或鋼瓶異常洩漏時，無立即可用 – 廢氣處理設備：發火性廢氣進入 氣櫃於更換鋼瓶前進行排氣時，
既有設施防護、安全規範及新增控 護機制，供應管路採雙套管設 斷，以達有效切斷洩漏源的防
之應變器材。並且考量發火性洩 廢氣處理設備前，若因外力、施 未能確認廢氣處理設備狀態是否
制措施後，摘要成發火性物質運轉 計，外管抽負壓監控壓力，例如 守，如 圖9 。
漏應變器材又多又重，不易初期 工及維護保養時造成管路接合不 正常，發火性廢氣排放至後端可
安全之最佳化風險防範對策，以下 發生外管失壓時，即關斷供應設
應變支援，因此設置緊急應變專 – 機台設備端：機台端鋼瓶內化學 良，當空氣進入管內造成燃燒的 能未經處理即進入主風管，與其
風險控制改善結果分述如 表5 。 備，以達預警止漏的效果。
用推車於主要進出口安全梯旁 品主要來由鋼瓶氣櫃補液，若液 風險。設置防迴火溫度監控，全 他物質接觸反應造成管內燃燒的
防護措施&風險控制 明顯易取之處，有效提高應變時 再者台灣身處地震帶，無預警地 位監控失效可能造成發火性物質 時監測管路溫度，當溫度異常達 潛在風險！如 圖12 。

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