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技術專文

圖3、F14A應變流程改善面向 圖4、機台水損示意圖 圖5、自動疏散點名系統架構圖

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疏散 成立2 ERC 震後建物評估 災後復原
既有 完成應變，消防&
應變 地震發生 至戶外成立 疏散點名 建物評估完成 氣體偵測系統正常 回報機台及 供氣/酸並管制
流程 廣播疏散 2 nd ERC 作業 人員回建築物 設備進入無塵室 管路狀況 人員進出 入廠刷卡 廠區門禁系統
資料 處理器

本次 廣播詞修改 2 ERC 建物評估效率 支援人力安全告知書
nd
改善 點名機制 設備改善 震後檢查項目完整度 震後HPM復歸流程
項目 震後人員進入無塵室標準 報廢晶圓處理程序
DRP 程序建立
集合點刷卡 集合點 進/出資料比對
資料 獨立處理器 並產出報表

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一開始的人員疏散，到生產復原流 無化學品洩漏)狀況，並進行相關 災後復原流程改善 表 2、2 ERC 硬體改善項目
程均有可改善之處，因此以時間序 通報與成立ERT進行應變。然工欲 於震後緊急應變 (包含人員疏散與
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nd
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依人員疏散、成立2 ERC、震後 善其事必先利其器，我們必須具備 ERC主要功能與器材 ERC 改善前2 ERC 改善後2 ERC 備註
ERT應變)結束後，廠區即可進行生
建物評估、災後復原(如 圖3)等四 相關軟/硬體設備才能執行上述任 產復歸的作業。而既有觀念，生產
大階段來進行全面的應變檢討與改 務。日本於阪神地震(1995)與東日 復原主要由製造部與各設備及廠務 衛星電話 X X O 即使市話基地台中斷，仍可透過衛星訊號保有通訊功能
善。各階段問題簡述如下。 本地震(2011)中也都遭遇通訊的問 ERC實體專線電話 O X O 保有ERC電話通訊功能並完成來電轉接
同仁進行，與工安較無直接關係。
題，可發現通訊設備的重要性。而 而此次我們從中發現部分流程與安 CCTV系統監控 O X O 建置CCTV公網，可使用戶外電腦遠端監控
人員疏散問題 既有的2nd ERC設備編制，僅有一 全息息相關，但也因為先前並無經
台緊急應變電腦，缺乏CCTV遠端 火警系統專用監控電腦 O X O 2nd ERC已增設為兩台電腦(先前僅一台)
從文獻得知，地震後要特別注意有 驗，故缺乏相關標準作業程序，包
監控程式來掌握建築物內部受損情 氣體偵測器系統監控專用電腦 O X O 2nd ERC已增設為兩台電腦(先前僅一台)
無掉落物砸傷人員，而於美濃地震 含下列項目:
況；通訊方面也缺乏實體電話及網
後調閱廠區監視器畫面卻發現，許 – 缺乏震後HPM (Hazardous Pro- 廠務系統遠端監控 O X O 設置廠務系統大盤網頁，可用戶外電腦監控
路線，我們於此次應變經驗中發現
多人於地震當下的第一反應就是往 duction Materials)復歸流程，於 實體網路線 O X O 設置後，有效提升網路穩定度
既有設備無法滿足通訊與遠端監控
外跑，隨即出現人員重心不穩跌倒 重新供酸或重送特氣過程中，有
之功能，因此著手進行2nd ERC硬
或頭頂有物品掉落的狀況。同仁就 危害物洩漏風險。
體設備改善方案。
近掩蔽觀念不足，既有地震疏散廣
– 地震造成廠區部分漏水並滴到機
播詞也僅強調第一時間進行疏散， 制都更加完整，詳細改善方法逐一 – Step2將廠區最外圍出入口讀卡 2 ERC設備改善
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未提醒同仁先“就近掩蔽”以降低 震後建物評估改善 台造成水損(如 圖4)，但既有應
變流程中，主要步驟為進行洩漏 簡述如下。 機刷進名單列為“疏散應到人 nd
受傷風險，故將地震疏散廣播詞列 於0206進行震後建築物評估時， 經由0206實際經驗後，進行2
源止漏與機台斷電並使用帆布覆 數”，另以疏散集合點讀卡機刷
為改善項目之一。 發現主要問題如下: ERC硬體設備改善(如 表2)，ERC
蓋機台，但缺乏業界已成熟之 卡名單做為“實到人數” 於撤退至2 ERC後5分鐘內可完
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前述文獻也提到，具備有效的人 – 震後建物評估速度慢，導致人員 災後生產復原(Disaster Recover 疏散方面 – Step3與公司自動化整合課同仁 成安全監控(包含消防系統/毒氣偵
員點名方式是很重要的。然而目 回到建築物內時間與水損時間拉 Plan，以下簡稱DRP)標準程序來 我們結合前述文獻並請教國內防震 合作設置疏散報表，藉由上述資
前大部分點名方式“僅能掌握廠 長，因此我們修訂震後建物評 對機台進行完整的搶救，提升機 專家意見後，進行地震疏散廣播詞 料比對即時掌握實到與應到人 測系統/CCTV/廠務系統狀況)系統
區疏散實到人數，但無法確認應到 估優先順序，並以震後評估點 台搶救效率與正確性。 修改，提醒同仁於地震發生當下首 數，而為了提升門禁系統作業速 遠端監控及ERC電話(119)轉接，
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人數”，因無法確認地震當下仍在 CCTV進行輔助，先以CCTV觀察 重躲避再行疏散，降低人員受傷風 度，我們設置獨立處理器來進行 同時增設衛星電話，大幅提升2
建築物內的人員即時名單，僅能於 各震評點是否安全，再讓震評小 ERC監控與通訊功能。
險。同時於地震疏散廣播詞增加第 資料比對 (如 圖5)
各單位集合之後，逐一進行人工點 組進入建物內檢查，提升評估人
一時間就地掩蔽之提醒。 此套自動疏散點名系統改善後於
名。因此我們希望藉由門禁系統即 員安全及提升震後評估效率。 震後建物評估改善
時的人員進出資料來改善上述問 改善方法與成果 另對於疏散點名無法掌握廠區人數 2017/12/6全廠疏散演練驗證有
– 此次經驗發現tsmc震後緊急應變 效，當天廠區共疏散2,009位人
題，提升點名效率與準確度。 的問題，我們透過廠區門禁系統建 我們希望疏散至戶外的同仁可於
流程於實際狀況發生時可能面臨 員，疏散報表於所有同仁刷卡後兩
置自動疏散點名系統進行改善，同 30分鐘內進入餐廳，因此與廠區
下列幾項問題，包含震後評估小 面對前述應變問題，我們以0206 分鐘內產出，其中有28位人員刷卡
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2 ERC設備改善 時提升疏散點名效率，整體計畫執 系統規劃課合作，設置建築物一樓
組人數不足&地震後伴隨火警/氣 實際應變經驗並參考業界應變經驗 資料未成功讀取(準確度 98%)，有
行步驟如下: 震後評估點CCTV群組(如 圖6)輔助
人員疏散至戶外後下一動作就是成 體洩漏/化學品洩漏…等情況需 以及與專家學者討論後，分別進行 效提升點名準確度與點名效率。而
監控，並定義建物評估優先順序如
立戶外緊急應變中心，透過電腦遠 進行應變&震後評估檢查項目不 硬體設施與應變程序之改善。讓人 – Step1於戶外疏散集合點設置讀 此次部分同仁刷卡失敗，可運用系
下，來提升震後評估效率。
端連線來監控廠內安全監控系統 夠完整以及未明訂五級地震後人 員疏散、成立2nd ERC、震後建物 卡機，並教育訓練人員疏散至戶 統未到人員名單來進行現場點名，
(包含消防系統/毒氣偵測系統/有 員進入無塵室安全評估標準。 評估、災後復原等四大面向應變機 外後需進行刷卡。 迅速確認所有人員安全狀態。 震後建物評估分四階段：第1~3階

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