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技術專文

總量將會持續且大幅增加，為有效 圍。台積電同時也計畫與所在地之 在政府與廠商配合下，可能的模式
表 5、台積電循環經濟藍圖
抑制資源耗用及委外廢棄物處理量 各科學管理局合作，開發園區內保 為：
的成長，並減少對本地環境衝擊， 留之環保用地成為在地之資源再生
– 半導體原物料供應商必須負責回 分類 2010年 2016年 2022年 行動方案
必須將循環經濟思維應用在半導體 中心，讓在地的廢棄物於所在地回
收所衍生之廢棄物，降級回收比
產業上，並重新定位半導體的廢棄 收並再生，免除了廢棄物與再生物
例需逐年降低，同時發展再生技 製程產出 7,410 26,700 75,070
物與資源。台積電自2010起，積 料運送之不便及能耗。台積電目前 廢棄物 (回收率92%) (回收率95%) (回收率95%)
術，將廢棄物再生成為半導體等
極展開各項減量及資源化發展活 計畫與中科管理局開發區內之環保 總量
級原物料。
動，依照循環經濟3階段，針對各 用地，目標於2020年實現台灣科 處理及 焚化+ 600 8.1% 焚化+ 1,450 5.4% 焚化+ 3,850 5.1%
項廢棄物展開再生技術的評估，並 學園區內首座資源再生專區之啟用 – 半導體廠必須購買一定比例之再 再 掩埋 掩埋 掩埋
生分類
規劃出台積電的循環經濟行動藍 及營運。 生原料，並逐年提升。 CE1.0 6,810 91.9% CE1.0 23,000 86.1% CE1.0 25,660 34.2%
圖。
如 表5之藍圖所示，2010年前， – 政府強化金融對半導體循環經濟 CE2.0 - 0.0% CE2.0 2,250 8.4% CE2.0 30,250 40.3%
這份循環經濟行動藍圖的制定，是 台積平均月產生廢棄物量為7,400 的支持，獎勵創新及新商業模 CE3.0 - 0.0% CE3.0 - 0.0% CE3.0 15,310 20.4%
由2010年起，以每六年為一個檢 噸，資源回收率達92%，在此時期 式，撥款支持再生精煉廠，支持
硫酸 焚化+ - 0% 焚化+ - 0% 焚化+ - 0%
視節點，2010至2022將有三個節 前皆為委外降階回收(循環經濟1.0) 工業園區再生基地之建立，讓再 廢液 掩埋 掩埋 掩埋
點，參見 表5。藍圖之首要目標為 或為掩埋焚化途徑；隨著製程的演 生產業發展，且使再生原料售價
CE1.0 3,690 100% CE1.0 5,550 71% CE1.0 4,000 18% 委外再利用:再生產品為工業級濃硫酸、稀硫酸、發煙
將焚化及掩埋廢棄物由8%降低至 進及擴產的效應，2010年至2016 具競爭性。 硫酸、硫酸鹽類
5%，也就是幾乎液態廢棄物都不 年製程廢棄物月產出大幅上升至
– 政府對於進口或開採之半導體原 CE2.0 - 0% CE2.0 2,250 29% CE2.0 14,000 61% 廠內去除雙氧水再生活化作為廠內及6"/8"他廠廢水加
再透過焚化處理，而是能夠循環利 26,700噸，但透過廠內先期的再生 藥劑循環使用，使降低委外再利用硫酸量同時零外購
物料增加課稅，且對焚化掩埋採 工業稀硫酸
用。這最後剩餘的5%需焚化處理 技術的規劃，台積電成功開發並導
漸進式高稅率，對於循環再生產
的廢棄物，為廠務系統汰換下來的 入廠內再生技術，將製程使用後之 業及產品則給予優惠減稅。 CE3.0 - 0% CE3.0 - 0% CE3.0 4,800 21% 與供應商合作開發廢酸精煉成電子級硫酸技術
活性碳，離子交換樹脂，或空調使 廢棄物於廠內降階循環使用(循環 硫酸銨 焚化+ - - 焚化+ - 0% 焚化+ - 0%
用之過濾網等。 經濟2.0)，降低廢棄物委外清運回 在完成半導體產業轉型為循環經濟 廢液 掩埋 掩埋 掩埋
收；未來，台積電將持續擴大廢棄 模式下，必能創造莫大經濟效益及 CE1.0 - - CE1.0 6,900 100% CE1.0 1,200 9% 委外再利用:再生產品為工業級硫酸銨、氨水、石膏
在以搖籃到搖籃為終極目標的再生
物廠內自行活化再生範圍，同時也 就業機會，同時能幫助台灣減少原
循環過程中，委外再生比例將逐年 CE2.0 - - CE2.0 - 0% CE2.0 9,500 69% 廠內建置MVR高效能蒸發結晶系統產製工業級硫酸銨結
朝電子級循環邁進(循環經濟3.0)， 物料消耗，減少進口原料依賴，及 晶，使原先需付費處理的硫酸銨廢液活化轉製成有價
降低並最小化，雖然廢棄物都能透 再生產品
預估至2022年台積電每使用100份 降低碳排量。
過廠商轉為再生產品，但在運送過
的物料將有20份將作為再生電子及 CE3.0 - - CE3.0 - 0% CE3.0 3,000 22% 與供應商合作開發廢酸精煉成電子級氨水技術
程及再製過程中，恐也相對造成一
物料回收，40份透過廠內再生活化 高含水 焚化+ - - 焚化+ - - 焚化+ - 0%
定程度的污染。因此，藍圖中訂定 半導體製程演進中 異丙醇 掩埋 掩埋 掩埋
為再生產品，另外35份委外降階應
CE1.0由91.9% 降低至34.2%，同 的廢棄物管理計畫 廢液
時CE2.0由0% 提升至40%，代表 用至其他產業，僅有5份需要透過 CE1.0 - - CE1.0 - - CE1.0 1,250 14% 委外作為替代燃料回收/蒸餾處理(物質回收:IPA)
焚化或是掩埋的方式進行最終妥善 在半導體製程世代的演進過程中， 建置廠內蒸餾除水系統，將低濃度異丙醇提濃至
能夠自行在台積電廠內回收再利用 CE2.0 - - CE2.0 - - CE2.0 4,400 48%
處理。 為使新進之化學物質管制能朝健全 Conc.85%異丙醇做為工業原料
者，台積都將盡量為之。例如廢硫
酸再生系統(回收廢硫酸為工業用 化學品管理方向發展，台積設置 CE3.0 - - CE3.0 - - CE3.0 3,600 39% 與供應商合作開發廢酸精煉成電子級異丙醇技術
硫酸)，液態硫酸銨結晶系統(再生 新設備/新化學品審核委員會(New 去光阻劑 焚化+ 400 78% 焚化+ 750 56% 焚化+ 1,900 54%
循環經濟對半導體產業鏈 廢液 掩埋 掩埋 掩埋
成為99%硫酸銨晶體)，及含銅廢 Tool and Chemical Committee,
可能帶來的影響
液電解系統(再生成為銅棒)，都是 NTCC)，在新機台或是新物料進廠 CE1.0 110 22% CE1.0 600 44% CE1.0 1,650 46% 部分高熱值無硫分之去光阻廢液作為替代燃料回收(能
源回收)
台積電近年來安裝在廠內之廢棄物 在目前半導體產業鏈，原物料供應 前即進行源頭管制，蒐集並要求化
再利用系統，同時也已成為新建廠 商往往是不需負責其所產出之廢棄 學品廠商提供必要安全資訊，以提 CE2.0 - 0% CE2.0 - 0% CE2.0 - 0%
區之標準配備系統。氫氟酸廢液， 物，或衍生廢棄物，而由半導體廠 供後續化學品入廠後之廠務系統分 CE3.0 - 0% CE3.0 - 0% CE3.0 - 0%
及無機汙泥等，則是未來將再投入 自行去化廢棄物，政府單位目前也 管分流及其後廠內資源再生、處理
光阻 焚化+ - 0% 焚化+ - 0% 焚化+ - 0%
再利用技術開發的對象物，期能再 只扮演著消極的去化管理及污染管 或是委外再生、處理之依據。 稀釋劑 掩埋 掩埋 掩埋
廢液
生成為有價值之冰晶石及矽錠。 制角色，仍缺乏整體循環經濟思維
新物料進廠後將依據製程參數分析 CE1.0 750 100% CE1.0 3,150 100% CE1.0 8,400 100% 委外再利用:蒸餾純化成工業級溶劑
及配套法規。台積電希望藉由這份
CE3.0由0% 提升至20%，代表台 推估產出之衍生廢液特性，透過新 CE2.0 - 0% CE2.0 - 0% CE2.0 - 0%
藍圖，提出願景，策略，時辰以及
積電將結合原物料供應商，發展將 廠設計部(NFDD)及廠務(FAC)等單 CE3.0 - 0% CE3.0 - 0% CE3.0 - 0%
行動方案，如同引領循環經濟潮流
廢棄化學品再生成為半導體等級原 位之專業系統性評估，判定是否由
的荷蘭及丹麥，訂下完全實現循環 無機汙泥 焚化+ - 0% 焚化+ - 0% 焚化+ - 0%
物料之技術。自2016年起，已有 廠內處理或再生(參照前述台積電 掩埋 掩埋 掩埋
經濟的願景。也藉由這份藍圖，台
供應商投入且發展出相關之再生技 資源再生技術開發評估系統)，或
積電期望扮演引領者的角色，期能 CE1.0 1,050 100% CE1.0 2,320 100% CE1.0 5,750 100% 委外再利用以高溫燒結或熱處理作為人造螢石、水泥
術，例如廢硫酸再生，廢異丙醇再 由廠外透過適當之廢棄物廠商進行 原料或人工骨材
於最短時間將半導體產業從線性經
生及廢顯影液再生技術。2019年 再生及處理，當廠內外皆無適合處
濟轉型到循環經濟。 CE2.0 - 0% CE2.0 - 0% CE2.0 - 0%
起，再生產品將會陸續送入台積電 理再生方式，NTCC委員會將退回
CE3.0 - 0% CE3.0 - 0% CE3.0 - 0%
生產線上測試，並逐步擴大使用範 未來循環經濟下的半導體產業鏈， 審查案件回使用者及供應商階段，
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